新闻资讯

NEWS

公司动态

业界动态

技术支持

CRF在電子行业用等离子体表面处理机的使用情况?

关键词：

发布时间：

2023-03-29

CRF在電子行业用等离子体表面处理机的使用情况?
CRF等离子体表面处理机，是全新的高科技仪器，它利用活性组分的性质对样品表面进行处理处理，达到清洁的目的，除了具有清洁的作用外，还能够进行活化和刻蚀等，广泛应用于各个领域，下面给大家举个例子：在電子工业清洗中的干法清洗,过程中需要真空泵制造一定的真空条件满足清洗所需。下面来看看等离子清洗机的作业流程及注意事项。
等离子体表面处理机所需要的等离子体主要通过特定的气体分子在真空、放电等特殊场合下产生,像低压气体辉光等离子体。简单地说,plasma需要在真空状态下进行(一般需保持在100Pa左右),所以需要真空泵进行抽真空作业。
其核心过程包含:先将需要清洗的部件送入真空室固定,启动真空泵等装置开始抽真空排气到10Pa左右的真空值;接着向真空室引入等离子清洗用的气体(根据清洗材质的不同,选用的气体也不同,如O2、H2、AR、N2等),并将压力保持在100Pa左右;在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电使其发生离子化,产生等离子体;在真空室内产生的plasma完全覆盖被清洗部件后,开始清洗作业,清洗过程会持续几十秒到几分钟。