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半导体真空电浆清洗机的作用使用方法都有哪些

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发布时间：

2020-12-28

半导体真空电浆清洗机是一种先进的高科技设备，是利用等离子体进行清洗活化改性蚀刻，提高附着力等作用的设备，在使用时，一定要按照说明书的要求进行操作，其中有些使用方法都有哪些知识也需要了解，今天就给大家具体介绍一下。

在半导体真空电浆清洗机抽真空作业时，一定要使三通阀指向闭合状态，也就是说，让箭头向下，然后打开真空泵的电源，看看真空泵的旋转方向是顺时针还是逆时针，如果是顺时针，则正常，在检测完毕后，再将电源关闭。
在启动真空泵前，确保真空电浆清洗机与真空泵连接，此时等离子处于闭合状态，启动后等离子舱将产生发光。在抽气时，要将三通阀打开，使之与室内空气相通，然后在将针形阀打开时，注意要轻柔地打开，让空气慢慢进入真空电浆清洗机机舱内，形成等离子体，然后再将前部的控制面板的电源打开。在进行等离子体处理时，要根据所需时间处理好样品，处理完成后，在RF中关闭，清洗完毕。
用半导体真空电浆清洗机时，可参照以上内容进行，只有操作正确，才不会发生故障，另外，在切断电源后，还要检查等离子清洗机后电源边缘保险箱内的保险管是否正常，有无烧断的痕迹，如果有损坏，一定要更换新的匹配的保险管。