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带腔体的真空等离子清洗机的放电现象会对产品有什么作用?

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发布时间：

2023-09-15

当采用容性耦合充放电的真空等离子清洗机的表面清洗对原材料采取等离子体表层处理时，只需选择的混合气体是惰性气体，便会形成-定的溅射的现象，这与直流辉光放电或是交流电高频高压电源实际上并没有关系，那麼溅射的现象对真空等离子清洗机所加工处理的产品也会有不良影响吗?
真空等离子清洗机的表面真空过滤器所形成的溅射的现象通常比较薄弱，而薄弱的溅射的现象对普通级的产品或原材料来说，并不会对原材料的基材特点形成不良影响，但假如所加工处理的产品对加工处理要求比较严格，如医用相关产品，便会对溅射的现象的程度有所要求，通常为溅射越少越薄弱是越好的。
我们继续从真空等离子清洗机的电极结构来先了解一下溅射，容性耦合的射频真空等离子清洗机，基本上都是会采用铝合金型材用作电极，那也是通常是综合考虑铝本身优异的导热性能和对等离子体的耐候性，而即便是铝，在长期的等离子轰击下，电极的表面仍也会有铝分子逃逸下来。
也正是由于射频溅射会把金属材料粒子轰击下来，而被轰击出来的这些金属粒子可能会附在产品的的表面带来污染，进而不良影响产品，如医用高分子材料的表面黏附合金分子，会对人的身体带来安全风险;半导体材料印制电路板则会由于合金的注入，而不良影响其打线的质量。
因而，为了减少甚至避免射频溅的现象，那麼就需要对真空等离子清洗机的腔体结构、电极板制冷、加工工艺技术参数等层面采取更改和调整。