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CRF低温等离子体处理后材料表面会发生什么反应

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发布时间：

2023-06-26

CRF低温等离子体处理后材料表面会发生什么反应:
CRF低温等离子体状态是物质存在的主要形式之一，是第四种有别于气体、液体和固体的物质状态，是由离子、电子、原子、分子和自由基等粒子组成的集合体。电子通过电场加速能量供应，物质分离成阴阳离子。此时，整个系统中的阴阳离子总电荷相等，外部电中性，因此被称为等离子体。近年来，等离子体技术已广泛应用于材料、微电子、化工、机械和环境保护等学科。
粒子、粒子密度和粒子温度是低温等离子体状态的三个要素。根据低温等离子体中电子温度与粒子温度的关系，等离子体又可分为高温等离子体和低温等离子体两种。低温等离子体又分为热平衡等离子体(简称热等离子体)和非平衡等离子体(又称冷等离子体)。热等离子体中的电子温度与离子温度相同，容易处于局部热平衡状态。等离子体温度较高，一般在大气压或高气压条件下产生。由于其特点，热等离子体广泛应用于等离子体喷涂、冶金、合成、磁流体发电、焊接等领域。冷等离子体中的电子温度和离子温度不同，其电子温度较高，但离子温度只有几百K，整体宏观温度较低。一方面，冷等离子体有足够的电子能量刺激、离解和电离反应物，实现普通化学反应无法进行的反应；另一方面，反应系统可以保持低温。因此，低温等离子体应用广泛。如高效特殊光源、材料表面渗氮处理、聚合膜和功能膜、表面处理、离子蚀刻、挥发性气体处理、杀菌、催化、废水处理等。