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影响低温等离子处理机放电的匹配器的分析

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发布时间:

2022-11-29

影响低温等离子处理机放电的匹配器的分析:
       
低温等离子处理机不放电或者放电忽高忽低,通常是阻抗匹配出现了情况。等离子发生器在能量传递中,如果反应腔和电极(以下简称负载)阻抗和传输线特征阻抗不相等,在传输过程中会发生反射,部分能量通过加热丢失,而不是所有能量被低温等离子体处理器的负载吸收,将会直接关系等离子体表面处理的成效。
低温等离子处理机       在高频放电回路中,为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器,常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络,以便按不同放电条件进行调节,使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配,让等离子清洗机放电稳定,工作效率高。
       影响
低温等离子处理机匹配效果的几个主要因素,低温等离子处理机的匹配器,就好比是等离子发生器的伴侣,两者要相互匹配,不可用小功率的匹配器去适应大功率的等离子发生器,除此之外,要想等离子清洗机取得理想的匹配效果,还需注意以下几个方面。
1.在设计
低温等离子处理机的反应腔体和电极的时候,要与匹配器供应商充分沟通相关技术参数,以满足plasma的匹配要求;
2.低温等离子处理机在安装匹配器的时候,应尽量靠近反应腔体和电极,缩短连线,减少功率损耗;
3.气体流量、真空度、处理的产品材质和数量等因素都可能影响阻抗匹配,需根据实际情况做调整。


 

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