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电浆清洗机清洗有机场效应晶体管(OFET)材料的重要性

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发布时间:

2022-10-31

电浆清洗机清洗有机场效应晶体管(OFET)材料的重要性:
        有机场效应晶体管(OFETS)是一种有源装置,它能够通过改变栅极电压来改变半导体层的导电特性,然后操纵通过源漏极的电流。有机场效应晶体管作为电路中的基本元件,以其低功耗、高阻抗、低成本、可大面积生产等优点,受到了广泛的重视,并得到了迅速的发展。其组成元器件主要由电极、有机半导体、隔热层和基板组成,这些元件对OFET的性能有很大影响。通过电浆清洗机对电极、有机半导体、绝缘层和基片进行处理,提高了材料的功能。

电浆清洗机        1、基片衬底——电浆清洗机等离子处理,除去基片表面杂质,改善表面活性
        基片一般在晶体管的底层,首部起着支撑作用。可用作OFET的基片材料:玻璃、硅片、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯(PET)等。无机基板有高熔点、表面光滑的优点,如玻璃、硅片、石英。虽然表面看起来很粗糙,但是这些数据显示了像聚乙烯萘(PEN)和聚乙烯(PET)这样的弹性可弯曲材料。电浆清洗机处理的衬底需要在准备阶段对衬底进行处理,以去除衬底表面杂质,提高表面活性。
        2、电极处理-电浆清洗机等离子处理
        在有机场效应晶体管(OFET)中,电极是另一重要元件。通常认为,当有机半导体层/电极界面的电势垒高度△E<0.4eV时,电极与有机半导体层之间可以形成欧姆接触,对于P型OFET来说,其高已占轨道能级为-4.9eV至-5.5eV,且需选用功函数较高的,常用的有Au(-4.8eV-5.1eV)和ITO(-5.1eV)。普通ITO由于其功函数较低,要求采用进步功函数,因此能够利用好准13.56MHz频率VP-R3等离子处理器对其进行改进。

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