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2.45GHZ的CRF微波等离子处理机市场应用

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发布时间:

2022-10-24

2.45GHZ的CRF微波等离子处理机市场应用:
       在IC封装过程中,微波等离子处理机清洗技术和应用也会产生各类污物,包括镍、光刻胶、环氧树脂和氧化物的存在会降低产品质量。微波等离子处理机清洗技术作为一种精密的千法清洗技术,能有效除去这些污物,提高材料的表面性能,增加材料的表面能量。文中阐述了微波等离子体清洗的原理,设备及其应用,比较清洗前后的效果。集成电路的不断发展和印刷电路板结构尺寸篮的不断减少。呼吁芯片集成技术和芯片包装的可持续发展。然而,其包装过程中的污物一直困扰着人们,有利于环境保护、良好的清洁均匀性、良好的重复性、良好的可控性、微波等离子处理机清洗过程的三维处理能力和方向选择处理,将为人们解决这个问题。
 
微波等离子处理机       微波等离子清洗原理:crf微波等离子处理机清洗是利用等离子体通过化学或物理作用对工件表面进行分子水平处理,除去污染,提高表面性能的过程。对应不同的污物,应采用不同的清洗工艺。按照选定工艺气体的差异,可分为化学清洗、物理清洗和物理化学清洗。目前有直流和低频四种激励电源频率40KHz,射频13.56MHz以及文中介绍的微波2.45GHz。

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