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CRF真空等离子清洗机的面板上的压力值是清洗的重要指标之一

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发布时间:

2022-08-11

CRF真空等离子清洗机的面板上的压力值是清洗的重要指标之一:
       小编前面分享过,压缩气体是CRF真空等离子清洗机部分常用气体之一,同时也是工艺气体的重要来源。在生产过程中,压缩气体有着比较低的气体压力要求,借助压力调节阀等设备能够实现气体压力的稳定性和尺寸,因此真空等离子清洗机通常如何实现气体压力的可视化呢?
       压缩气体是CRF真空等离子清洗机的重要工艺气体来源。压缩气体的最低气体压力要求是其中之一。根据压力调节阀和其他设备实现了固体气体压力的稳定性和尺寸。如何实时显示等离子体清洗机的气体压力?

真空等离子清洗机              可视化气体压力的方法有很多。最常见的方法是在气路或气路的部件上安装一个减压表,这是真空等离子清洗机的气路压力显示。通常压力表安装在调压阀的预留孔上,其优点是在调节气压时可以直接观察到实时压力。
       除了增加压力表外,还可以通过增加压力传感器来实现气压可视化,但压力传感器通常需要配备显示模块或控制模块。其优点是可以直接在等离子体清洗机的操作界面上实时显示气体压力,但会增加编程的复杂性。同时,投资成本相对较高。因此,除了特殊要求外,等离子体清洗很少使用。
CRF
真空等离子清洗机气压可视化似乎是一个小指标,容易被忽视,但气压可视化可以帮助您实时观察plasma的压力,及时调查报警原因,提高故障解决效率。

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