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微电子方面plasma设备具体有使用在哪个工艺段

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发布时间:

2022-07-31

微电子方面plasma设备具体有使用在哪个工艺段:
       有人问,微电子领域能够使用plasma设备进行表面处理吗?微电子属于一种高精细度的领域,对表面处理的工艺要求非常高,在生产制造的过程中,传统的清洗方式例如机械清洗、溶剂清洗和水洗之后,我们可以发现这种清洗方式并不彻底,无论进行多少次清洗材料表面仍旧有几十纳米左右厚度的清洗残留,对后续的加工有很大的影响,不利于产品的可靠性。不少微电子领域的企业开始寻找能够提高产品可靠性和精密性的表面清洗方式,而plasma设备处理技术能够实现这已要求,使产品可靠性、良品率显著提高。

      材料表面的污染物主要来源于外来分子的附着,或者因为表面接触环境自然生成的氧化层,而等离子表面处理能够很好的去处理这种根据体积大小、通入气体等不同,低压真空型的等离子表面处理机可分为实验用小型等离子设备、O等离子、N等离子等细分系列。
      在具体选择plasma设备的时候,我们需要考虑相当多的因素,这样才能提高效率。材料的表面特性、表面耐候温度、表面结构、材质、处理目的都是影响的参数,当然设备的参数,如激发频率、腔体结构、气体特性、真空度、气体流量、激发能量等,处理效果都会被这些影响。因此,根据多方面选择等离子表面处理机才是最佳的。

 

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