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诚峰智造这种等离子体表面处理仪3个显著的特征

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发布时间:

2022-04-17

诚峰智造这种等离子体表面处理仪3个显著的特征:
       诚峰智造crf等离子表面处理仪是在密闭容器中设置2个电极产生电场,并使用真空泵实现一定的真空度。随之气体变得越来越薄,分子间距和分子或离子之间的自由运动间距也变得越来越长。在电场的功效下,它们碰撞产生等离子,然后它们会发出光泽,因此被称为光放电处理。光放电时的气压对材料处理有很大的影响,这也与放电功率、气体成份、流速、材料类型等因素有关。

等离子体表面处理仪这种等离子体表面处理仪有3种显著的特征:
1.等离子体表面处理仪产生辉光现象,常称为电弧放电。因为它是真空紫外光,对蚀刻率有非常积极的影响;
2.气体包括中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子的温度在102-103K之间,与电子能量相对应的温度高达105K,因此被称为非平衡等离子或冷等离子。但它们表现出电中性和准中性;
3.等离子体表面处理仪产生的自由基和离子活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,并在任何的暴露的表层引起化学反应。等离子中粒子的能量一般约为几到几十个电子伏特,大于聚合物材料的组合键(几到十个电子伏特),可以破坏有机大分子的化学键,产生新键;但远低于高能放射性射线,仅涉及材料表层,不影响基体的性能。

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