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crf在电子工业清洗中的干法清洗-真空等离子设备

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发布时间:

2022-03-25

crf在电子工业清洗中的干法清洗-真空等离子设备:
     
真空等离子设备(低压plasam清洗机)是1种依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”,来去除物体表面污渍的1种清洗设备。它属于电子工业清洗中的干法清洗,过程中需要真空泵制造一定的真低压情况符合清洗所需,下面crf诚峰等离子清洗机品牌来给大家讲解说这过程是怎么一回事。
       CRF充放电等特定场所下形成,像低压气体辉光等离子体。简单地如开头说,等离子清洗需要在真空状态下进行,准确的说是低压状态下,如果完全真空的话也就意味着没有等离子体,等离子清洗也就不存在了(一般需保持在100Pa左右),所以需要真空泵进行抽真空作业。

       真空等离子设备其主要过程包括︰首先将需要清洗的工件送入真空室固定,启动真空泵等装置开始抽真空排气到10Pa左右的真空度;接着向真空室引入等离子清洗用的气体(根据清洗材质的差异,选用的气体也差异,如氧气、氢气、氩气、氮气等),并将压力保持在100Pa左右;在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被穿透,并经过辉光放电使其发生离子化,形成等离子体;在真空室内形成的等离子体完全覆盖被清洗工件后,开始清洗作业,清洗过程会持续几十秒到几分钟。

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