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辉光放电也是低温等离子清洗技术的1种方式

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发布时间:

2022-03-10

辉光放电也是低温等离子清洗技术的1种方式:
       低温等离子通常被简单地定义为部分电离的气体,它由激发原子和分子、正负离子、自由基、电子、光子等组成,整体表现为电中性。等离子通常分为平衡状态等离子和非平衡状态等离子。平衡状态等离子也被称为热等离子,其特征是所有的内部粒子都做到了热平衡状态。事实上,为了使电子、离子和原子做到热平衡,它必须有非常高的压力和温度。热等离子的典型例子是恒星。显然,热等离子不适合处理材料,因为地球上没有一类材料能够承受热等离子的温度。与热等离子相比,低温等离子的温度仅在室温或稍高,电子温度高于离子和原子,通常可做到0.1~十个电子伏。鉴于气体压力低,电子和离子相互间的撞击很少,因此无法做到热力学均衡。鉴于低温等离子的温度,它可以运用于材料行业领域。

低温等离子低温等离子以辉光放电的方式获得:
       辉光放电应属低压放电,工作的压力通常低于十mbar。其特征是将2个平行的电极板放置在封闭的器皿中,利用电子激发中性原子和分子。当粒子从激发状态(excitedstate)降回基态(groundstate)时,会以光的方式释放能量。电源可以是直流电源或交流电源。每种的气体都有其典型的其典型的辉光放电顏色,荧光灯的发光是辉光放电。因此,如果在实验中发现等离子顏色错误,通常代表的气体的纯度,这通常是由漏气引起的。辉光放电是化学低温等离子实验的重要工具,但鉴于气压低,工业运用难以连续生产,运用成本高,无法广泛运用于工业制造。到2013年,运用范围仅限于实验室、照明产品和半导体工业。

 

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