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氩气plasma清洗工作原理

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发布时间：

2020-06-16

氩气plasma清洗工作原理：

plasma等离子清洗机会应用到各种各样加工工艺气体，表层清理和活化一般会应用到氧、氢、氮和空气压缩，然而依据加工工艺的不同也会应用氩气。那么为何要应用氩气这类气体呢，及其它在plasma清洗机中的主要发挥的功效是什么。

氩是一种无色，无味的惰性气体，工业上主要用在电弧焊接和金属材料激光切割保护上，氩是一种惰性气体，所以弱电解质后造成的离子体与基材不产生化学变化。在plasma清洗中，氩用在基材表层的物理学清理和表层粗化。因而，氩等离子清洗机广泛运用于半导体材料、微电子技术、晶圆制造等制造行业。真空等离子清洗机中氩离子产生的辉光是暗红色的。在同样充放电自然环境下，氢气、氮气产生的等离子体均为鲜红色，不过氩气的色度小于氮气，高过氢气。

在圆晶、夹层玻璃等产品的表层颗粒物除去灰尘全过程中，一般选用氩气对表层颗粒物开展轰击，以完成颗粒物的分散化和松脱，随后再开展超声清洗或离心清理的工艺。尤其是在半导体封装全过程中，进行导线加工工艺后避免被空气氧化，也是选用氩气清洗机或氩氢等离子表层清理。氩氢混合应用不仅可以提升粗糙度外，还能有效除去焊层表层的有机化学空气污染物，对表层微空气氧化进行还原，普遍应用在半导体和工厂SMT等行业。

氩气plasma清洗工作原理-诚峰智造