图片名称

影响等离子表面处理器在物件活化和清洗效果的因素有哪些?

关键词:

发布时间:

2022-02-08

影响等离子表面处理器在物件活化和清洗效果的因素有哪些?
       干扰等离子表面处理器功效的原因有很多,在其中最重要的是电源工作频率、工作压力、运行的气体种类和清洁时长。等离子清洁功效会伴随着输出功率的提升而持续改善;工作压力的挑选应按照清洁后的基材进行合理的挑选。当主要是物理的作用时,应减低压力,提升离子能量。当主要是化学作用时,应提升一些压力,以确保反应的气体的浓度。清洁时长还应确保清洁功效和能耗,金属电极干扰等离子清洗功效。

等离子表面处理器       金属电极的设计对等离子清洁功效有显著干扰,主要包括金属电极的材料、布局和尺寸。对于内金属电极等离子表面处理器,由于金属电极暴露在等离子中,某些材料的金属电极会被某些等离子蚀刻或溅射,引起很多不必要的环境污染,致使金属电极尺寸的变化,从而干扰等离子清洁系统的稳定性。
       金属电极的布局对等离子表面处理器的速度和均匀性有很大的干扰。较小的金属电极间距可以将等离子限制在狭窄的区域,从而获得更高密度的等离子,实现更快的清洁。伴随着间距的提升,清洁速度逐渐减低,但均匀性逐渐增强。金属电极的尺寸通常决定等离子系统的总体容积。在金属电极平行分布的等离子表面处理器中,金属电极通常用作托盘,大金属电极可以一次清洁更多的部件,提高设备的运行效率。

热门产品

相关文章