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鉴于深圳CRF等离子体清洁机等离子体中电子、离子和氧自由基等颗粒存在

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发布时间:

2022-01-25

鉴于深圳CRF等离子体清洁机等离子体中电子、离子和氧自由基等颗粒存在:
        深圳CRF
等离子体清洁机的等离子体是由正离子、负离子、自由电子等带电粒子和不通电的中性粒子组成的电离汽体,如激发态分子及其氧自由基。由于其正负电荷一直相同,被称为等离子体,是成分常见的固态、液体和汽体以外的第四态。激光、微波、电晕、电晕、热电离、弧光放电等离子体的刺激在等离子体清洗器中产生等离子体。低压汽体辉光等离子体主要用于电子清洗。一些不聚合的无机汽体(Ar2.N2.H2、02等。)在高频低电压下被刺激,产生许多活性粒子,如离子、刺激态和氧自由基。通常在等离子体清洁机中,活化汽体可以划分为两大类:一种是稀有气体的等离子体(如Ar2、N2等);另一种是反应性气体的等离子体(如02、H2等)。
CRF等离子体清洁机       关于反应机理,CRF等离子体清洁机一般包括如下过程:无机气体受激成等离子体;气相成分吸咐于固态表面;吸咐基团与固态表面的分子反应,生成产物分子;产物分子分析生成气相成分;产物分子分析,生成气相成分;反应残渣从表面分离。鉴于等离子体清洁机等离子体中电子、离子和氧自由基等活性颗粒的存在,很容易与固态表面发生反应,可划分为物理或化学。
(1)原子团等氧自由基与物体表面的反应:氧自由基是电中性的,主要表现在化学反应过程中能量传递的激活作用上。通过与物体表面的分子发生化学反应,不断产生新的氧自由基,释放出大量的结合能,成为引起新表面反应的驱动力,从而导致物体表面的成分发生化学反应并被去除;
(2)电子与物体表面的作用:电子对物体表面的冲击可以促进吸咐在物体表面的汽体分子的分解或解吸,携带负电荷有利于引起化学反应;
(3)离子与物体表面的作用:带正电荷的阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向,使物体表面获得相当大的动能,足以冲击去除附着在表面的颗粒物。我们称这种现象为溅射现象;
(4)紫外线与物体表面的反应:紫外线光能强,
等离子体清洁机断裂分解附着在物体表面的物质的分子键。而且紫外线穿透能力强,可以通过物体表面和深度微米产生。

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