新闻资讯

NEWS

公司动态

业界动态

技术支持

等离子清洗有哪几种

关键词：

发布时间：

2020-09-29

等离子清洗有哪几种：

已被广泛采用的清洗方法主要有湿法和干法两种。从环境影响、原材料消耗和未来发展等方面考虑，湿法清洗的局限性很大，干法清洗明显优于湿法清洗。其中等离子体干法清洗发展迅速，优势明显。等离子体就是电离气体，它是电子，离子，原子，分子或自由基等粒子的集合。高能量电子在清洗时，会对气体分子进行高能量电子碰撞，使之离解或电离，利用所产生的多种粒子轰击被清洗的表面或与被清洗表面发生化学反应，有效清除各种污染物；同时也可改善材料本身的表面性能，如改善表面的润湿性、改善薄膜的粘附性等，这在许多应用中具有重要意义。

经过等离子清洗后，器件表面干燥，无需再处理，可提高整个过程流水线的处理效率；可使操作人员避免受到有害溶剂的伤害；等离子可深入到物体内部的细小孔洞和凹陷处进行清洗，因此无需过分考虑被清洗物体的形状；也可处理各种材料，特别适用于不耐高温、不耐溶剂的材料。这些优势，都使得等离子清洗受到广泛的关注。

等离子清洗有哪几种，主要是分为化学的、物理的和物理化学等离子清洗。对于不同的清洗对象，可以选择O2、H2、Ar等工艺气体进行表面处理。

1、化学反应清洗：用等离子体中的高活性自由基和材料表面上的有机物质等进行化学反应，也称为PE。用氧清洗，将非挥发性有机物转化为挥发性物质，生成二氧化碳，一氧化碳和水。它的优点是清洗速度快，对清洗有机污染物效果较好，其主要缺点是氧化物可以在材料表面可能会重新形成。采用引线键合时，产生氧化物是我们不想看到的，通过选择合适的工艺参数可以避免这些缺点。

2、物理反应清洗：用等离子体中的离子进行纯物理碰撞，将附着在材料表面的原子击穿，亦称溅射腐蚀(SPE)。用氩气清洗时，氩离子具有足够的能量轰击材料表面，撞击力大到可以除去任何污垢。聚合物中大分子化学键分离成小分子蒸发，经真空泵排出。在氩气等离子体清洗的同时，可以改变材料表面的微观形貌，使材料在分子级范围内变得更“粗糙”，从而大大提高其表面活性，改善结合性能。氩气等离子体的优点是在材料表面没有留下氧化物。其不足之处是腐蚀过大或污染物颗粒会在其它不希望的区域重新聚集，但这些缺点可以通过调整工艺参数来控制。

3、物理和化学反应同时进行清洗：物理反应和化学反应在反应中都起重要作用。例如用混合气体Ar和O2在线式等离子清洗工艺，反应速度比单独使用Ar和O2快。氩离子加速后，所产生的动能又能增强氧离子的反应能力，所以通过物理和化学方法可以清除污染较严重的材料表面。

等离子清洗