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等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的
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发布时间：
2020-09-22
等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的：
等离子清洗机的起弧装置让具有活跃能激发态的原子、离子或分子向下能越级发光，从而形成等离子体的颜色。因为每种气体中的能级有不同的能量转换，所以每种工艺气体表现出不同的发光特性，从而产生不同的颜色特性。等离子清洗过程中常用的典型气体颜色如下：
CF4：蓝色
SF6：淡蓝色
SiF4：浅蓝色
SiCl4：浅蓝色
Cl2：浅绿色
CCl4：浅绿色
H2：粉红色
O2：淡黄色
N2：红色至黄色
Br2：红色
He：红色至紫色
Ne：砖红色
Ar：暗红色
等离子清洗机的辉光颜色不仅可用于识别是哪种工艺气体，还可用于定性评估工艺气体是否不含污染物。
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