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CRF诚峰真空plasma清洗机頻率和腔体材质的选择

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发布时间：

2021-10-13

一、CRF诚峰真空plasma清洗机頻率调节说明
目前常见的頻率有40KHz和13.56兆赫兹，20Mhz。40kHz的自偏压为一千V左右，13.56兆赫兹自偏压为250V左右，20兆赫兹的自偏压则更低，这三种激发頻率的体系不一样，40kHz發生的反应为物理反应，13.56兆赫兹發生的反应既有物理反应又有化学反应，20兆赫兹有物理反应但更主要的反应为化学反应，需要对材质进行活(化)、改性的要用13.56兆赫兹或者20兆赫兹的等离子体清洗40kHz的自偏压为一千V左右，13.56兆赫兹自偏压为250V左右，20兆赫兹的自偏压则更低，这三种激发頻率的体系不一样，40kHz發生的反应为物理反应，13.56兆赫兹發生的反应既有物理反应又有化学反应，20兆赫兹有物理反应但更主要的反应为化学反应，需要对材质进行活(化)、改性的要用13.56兆赫兹或者20兆赫兹的plasma清洗机清洗。
二、CRF诚峰真空plasma清洗机腔体材质的选择
如今常见的内腔材质有下列几个：石英腔、不锈钢腔、铝合金腔，三种腔各有优点，石英腔温度低，且不易發生反应。铝合金腔体的优势：
1.铝合金密度小，强度高，优于优质钢，机加工性能更好；
2.铝具有优异的导电性能.导热抗腐蚀；
3.材质与化学反应兼容性好，不易产生金属污染。
4.真空plasma清洗机真空泵的选择。
是选择国产的泵，还是进口的，是干泵还是油泵，是单级泵，还是双极泵，每一种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要来选取，这里就不做过多的赘述。