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plasma设备清洗使用时容易出现的问题和解决方案?

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发布时间：

2021-07-29

普通plasma设备适用于精密电子、半导体、pcb、高分子材料等高端產品的零部件，这些（高）级材料如果清洁不当，容易导致產品损坏。也是人们常说的plasma设备清洗越来越脏的原因。但是主要有什么原因呢?小编带大家一起简单分享一下!
理由1：plasma设备上次清洁完其它產品，清洁仓未清理干净，再一次清洁產品避免出现二次污染！
理由2：真空室内產品污染的原因是设备报警后，设备运作不当导致机械泵产生的部分油气被倒入真空室。
理由3：真空plasma设备在待机状态下正常状况下机械泵工作，主要是通过开启和关闭真空隔板阀(隔板阀)完成真空室的抽真空功能。当发生机械泵（倒）计时故障、机械泵热过载故障、电源偏移和反射过大等报警时，设备将自动停止工作，以防止设备关键配件损坏。
概要：plasma设备报警报警出现了自然关闭，但真空室仍然是真空状态。如果设备故障停机后，操作人员没有按照使用规范及时打破真空或打开机械泵，而是直接在自动界面上点击启动按钮，那么从高真空汽动隔板阀到真空室处理在高真空状态，从高真空到机械泵端处于常压状态。此时，高真空汽动挡阀打开后，如果机械泵端有残留的油气，油气会被真空室内负压倒入真空室内，造成真空室内產品污染。但plasma设备的解决方案是什么？
1.提高plasma设备操作规范，进行培训。向有实力的厂家请教技术，比如CRF厂家，就是购买等离子清洗机，一定要把客户使用设备的技巧和方法培训到位!有维护和维护知识，设备停止时立即进行真空破坏动作，确认机械泵是否因警报停止的机械泵停止的状况下，需要打开机械泵继续使用设备。
2.增加控制电路的联锁功能，除了操作人员的使用规范外，考虑到人员的流动性和执行规范的执行力等因素，普乐斯还考虑了简单有效的设备调节，增加机械泵启动与高真空隔板阀启动间的联锁功能，保证在机械泵启动时不能启动高真空隔板阀，以达到不能启动的状况。
3.诚峰智造等离子清洗机清洁方案的具体：
通常状况下，机械泵和高真空汽动隔板阀是分别独立调节的，中间继电器的接线状况如下：左到第二中间继电器(K1)完成机械泵的调节，左至第七中间继电器(K7)完成高真空汽动隔板阀的调节，两者均接收到信号后，相应的中间继电器吸合，完成负载调节。
为了保证真空室不会因误操作而吸入油气，有必要保证K1在非运行状态下K7中高真空汽动隔板阀控制线K7和L7不插电。此时，电子调节中的L7线移动到K1中另一对常开触点的一端，从另一端连接到K7中原L7线的处。进而完成机械泵与高真空汽动隔板阀的联锁，保证高真空汽动隔板阀在机械泵不工作的状况下不能打开。
plasma设备清洁越来越脏的原因，你知道了吗？以上方案是简单有效的预防改造方式，运作简单（安）全可靠，但为了保证产品质量，必须规范等离子清洗设备使用者的运作规范。设备故障停止时，必须立即进入手动接口进行真空破坏动作。设备停止时间长，產品处于高真空状态的真空室内也会影响產品。