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常压等离子清洗机的工作气体放电原理分析

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发布时间：

2020-09-01

常压等离子清洗机的工作气体放电原理分析：

常压等离子清洗机工作时的气体放电分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。不同的常压等离子清洗机工作气体放电原理有不同的作用及应用场所。

大气等离子清洗机通常把在电场作用下气体被击穿而导电的物理现象称之为气体放电。如此产生的电离气体叫做气体放电等离子体。大气等离子清洗机按所加电场的频率不同，气体放电可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流（DC）放电因其简单易行，特别是对于工业大气等离子清洗机装置来说可以施加很大的功率至今仍被采用。低频放电的范围一般是1-100kHz，现在装置常用的频率为40kHz。

目前，在实验装置和等离子工艺设备中用得较多的常压等离子清洗机莫过于高频放电装置，其频率范围为10～100MHz。由于这属于无线电波频谱范围，故又称为射频放电（Radio frequencydischarge），简称RF放电，常用的频率为13.56MHz。当所用大气等离子清洗机的电场频率超过1GHz时，属于微波放电（Microwave discharge），简称为MW放电。常用的微波放电频率为2450MHz。

常压等离子清洗机的工作气体放电原理分析