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(1)等离子表面清洗机的工作原理
①等离子体表面处理是指非聚合性无机气体，如Ar、N2、O2、H2等 等离子体对材料表面的物理或化学的作用过程。参与表面反应的有激发态分子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外光的作用。
(2)真空等离子清洗机的组成结构
①控制单元：现在的等离子清洗机主要有全自动控制、半自动控制、PC控制、液晶触摸屏控制四种控制单元，而控制单元主要由电源、控制系统、控制按钮和操作显示器等部分组成。
②真空腔体：真空腔体就是用于清洗对象物的空间，主要有石英腔体和不锈钢真空腔体。由于其内部采用真空灭菌防菌以及等离子清洗法，对于腔体压力的承受有着一定的要求，所以需要采用材质较好的腔体进行配置。
③真空泵：等离子清洗机的主要动力来源就是真空泵，主要作用是将真空腔体中的空气抽干，达到真空的环境，然后再进行等离子清洗。真空泵主要分为干泵和油泵。干泵主要以电力为动力源，而油泵则使用汽油或柴油为动力源。
(3)旋喷型等离子表面处理机的旋转方式
①直流电机：旋转速度快，约3000转/分钟；
②步进电机：旋转速度适中，约2500转/分钟；
③空心电机：旋转速度稍慢，1800-2000转/分钟
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