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真空等离子清洗设备所用的三种真空泵组的介绍以及优点

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发布时间:

2021-03-22

真空等离子清洗设备所用的三种真空泵组的介绍以及优点:
        在真空等离子清洗设备空腔较大的情况下,需要谨慎选择真空泵组,以保证真空速度。一般认为,真空等离子清洗设备的真空泵组分为三类,一类是旋片真空泵组加上罗茨泵组组成的油式泵组;另一类是由干螺杆式真空泵组和罗茨泵组合成的干式泵组;第三类是由机械泵和分子泵组成的特制分子泵组。3种类型的泵分别有什么优点?还有哪些可供选择的考虑因素?诚峰智造为大家一一介绍。

诚峰智造真空等离子清洗设备
        油式泵组:
        该泵组是我们真空等离子清洗设备中常用的一种泵组,它是以旋片真空泵为底泵,以罗茨泵为次泵组合而成的泵组。在清洁度要求不高、空腔较大的真空等离子处理机上,一般采用油泵组。它的优点有很多:一是能大大提高抽气速度,减少抽气时间;二是结构更简单,维护更方便;三是性价比更高,具有价格优势。
        干式泵组:
        该泵组是以干螺旋真空泵为底泵,以罗茨泵为次泵组成的泵组。由于全部是由干式真空泵组合而成,因此不会产生油污染,洁净度略高于油式泵组。干燥泵类一般应用于生物医学领域、半导体领域及航天航空等对洁净度有更高要求的行业。
        干式泵组作为一种性能优良的泵组,其优点还真不少:一洁净度高,避免了油污;二抽真空速度快,提高了工作效率;三工作性能稳定,噪音低;四对工作环境要求低,能够应付各种恶劣的工作环境。
        分子泵组合:
        利用分子泵组可以形成洁净的超高真空环境,因此分子泵组一般应用于镀膜机、刻蚀机等对真空环境有较高要求的设备。分子泵组那么强,那么它有什么优点呢?一,分子泵组启动快,抽吸速度极快;第二,分子泵组不用油,不产生油污染;第三,维护简单。
        上述就是真空等离子清洗设备所用的三种真空泵组的介绍、优点及适用的工作环境,如果您想了解更多产品细节或在设备使用方面有疑问,欢迎点击诚峰智造在线客服,诚峰智造恭候您的来电!

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