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诚峰智造等离子体刻蚀机为您介绍介质阻挡气体放电特性

  • 分类:业界动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-03-13
  • 访问量:

【概要描述】        对于等离子体刻蚀机各种工作气体,惰性气体在大气压下均布放电介质阻挡,采用平行板结构的金属圆电极,可研究惰性气体在介质阻挡中的放电特性及属性。本研究所使用的电极直径50mm,两极分别包覆一层1mm厚的石英玻璃,其相对介电常数为3.9,气隙间隔为5mm。该电极与阻隔介质安放在放电室内,放电室先抽真空至5Pa以下,再充入高纯度的氦气、氩等气体。         用ICCD高速摄像机拍摄DBD放电的侧面图像,用ITO透明电极作为下电极和45°平面镜片辅助,可以拍摄到放电区域的底部。所测量的外加电压Va,放电总电流Vi和所计算的气隙电压Vg波形,其中所测量的准正弦虚线为外加电压波形,而细实线为电流波形。在每半个周期的外加电压上有一个电流脉冲,这是在等离子体刻蚀机大气压下介质阻挡均匀放电的一个典型特征。         当研究放电机理时,人们更关心气隙电压的Vg值,但由于阻隔介质的存在,不能直接测量气隙电压。利用所测电压Va和放电电流i,结合等离子体刻蚀机DBD的等效电路,即可计算出电压g。以所测得的电压Va和放电总电流i为基础,计算出气隙上的真实电压Vg和流动气隙中流动的电流id。         这一过程中,Vm(to)表征了在to之前放电在介质表面的累积效应。采用Vm(to)法计算时,在一个外加电压周期内,使Vm(t)的均值为0,即介质不存在自极化。氦放电中的位移电流比运流电流小得多,所以运流电流与实际测量的总电流基本一致,不再单独计算。在空气间隙中,电压Vg随外加电压Va的增加而升高,然后随空气间隙放电迅速下降。该拐点对应于气隙的击穿电压。         当确认等离子体刻蚀机放电的空间均匀性时,可以在放电电流峰值附近拍摄10ns的放电图像,发现放电没有明暗相间的放电细丝,说明该放电在空间上是均匀的,所以这种在大气压氦气中比较容易得到的放电就是均匀放电;同时还可以看到在瞬时阴极附近有一个亮度较高的发光层,这是辉光放电的典型特征,因此可以断定该大气压氦气放电属于辉光放电。         从等离子体刻蚀机电压、电流波形及侧发光可以看出,电源频率约为33kHz,气隙厚度约6mm,正极在上面,负极在下面。另外,对比电压、电流波形图和侧发光图,可以看到,氦气和氦气DBD非常相似,两者的区别只是它们的正柱区域不明显,而法拉第暗区则几乎没有。         由气体间隙电压波形可计算出其击穿强度,6mm气体击穿强度为1kV/cm,远低于大气压气体30kV/cm的击穿强度。这种低的击穿场强是实现等离子体刻蚀机大气压氦气和气体均匀放电的保证。         诚峰智造20年专注于等离子体刻蚀机技术,如有任何疑问,请点击诚峰智造在线客服进行咨询,诚峰智造恭候您的来电!

诚峰智造等离子体刻蚀机为您介绍介质阻挡气体放电特性

【概要描述】        对于等离子体刻蚀机各种工作气体,惰性气体在大气压下均布放电介质阻挡,采用平行板结构的金属圆电极,可研究惰性气体在介质阻挡中的放电特性及属性。本研究所使用的电极直径50mm,两极分别包覆一层1mm厚的石英玻璃,其相对介电常数为3.9,气隙间隔为5mm。该电极与阻隔介质安放在放电室内,放电室先抽真空至5Pa以下,再充入高纯度的氦气、氩等气体。


        用ICCD高速摄像机拍摄DBD放电的侧面图像,用ITO透明电极作为下电极和45°平面镜片辅助,可以拍摄到放电区域的底部。所测量的外加电压Va,放电总电流Vi和所计算的气隙电压Vg波形,其中所测量的准正弦虚线为外加电压波形,而细实线为电流波形。在每半个周期的外加电压上有一个电流脉冲,这是在等离子体刻蚀机大气压下介质阻挡均匀放电的一个典型特征。
        当研究放电机理时,人们更关心气隙电压的Vg值,但由于阻隔介质的存在,不能直接测量气隙电压。利用所测电压Va和放电电流i,结合等离子体刻蚀机DBD的等效电路,即可计算出电压g。以所测得的电压Va和放电总电流i为基础,计算出气隙上的真实电压Vg和流动气隙中流动的电流id。
        这一过程中,Vm(to)表征了在to之前放电在介质表面的累积效应。采用Vm(to)法计算时,在一个外加电压周期内,使Vm(t)的均值为0,即介质不存在自极化。氦放电中的位移电流比运流电流小得多,所以运流电流与实际测量的总电流基本一致,不再单独计算。在空气间隙中,电压Vg随外加电压Va的增加而升高,然后随空气间隙放电迅速下降。该拐点对应于气隙的击穿电压。
        当确认等离子体刻蚀机放电的空间均匀性时,可以在放电电流峰值附近拍摄10ns的放电图像,发现放电没有明暗相间的放电细丝,说明该放电在空间上是均匀的,所以这种在大气压氦气中比较容易得到的放电就是均匀放电;同时还可以看到在瞬时阴极附近有一个亮度较高的发光层,这是辉光放电的典型特征,因此可以断定该大气压氦气放电属于辉光放电。
        从等离子体刻蚀机电压、电流波形及侧发光可以看出,电源频率约为33kHz,气隙厚度约6mm,正极在上面,负极在下面。另外,对比电压、电流波形图和侧发光图,可以看到,氦气和氦气DBD非常相似,两者的区别只是它们的正柱区域不明显,而法拉第暗区则几乎没有。
        由气体间隙电压波形可计算出其击穿强度,6mm气体击穿强度为1kV/cm,远低于大气压气体30kV/cm的击穿强度。这种低的击穿场强是实现等离子体刻蚀机大气压氦气和气体均匀放电的保证。
        诚峰智造20年专注于等离子体刻蚀机技术,如有任何疑问,请点击诚峰智造在线客服进行咨询,诚峰智造恭候您的来电!

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诚峰智造等离子体刻蚀机为您介绍介质阻挡气体放电特性:
        对于等离子体刻蚀机各种工作气体,惰性气体在大气压下均布放电介质阻挡,采用平行板结构的金属圆电极,可研究惰性气体在介质阻挡中的放电特性及属性。本研究所使用的电极直径50mm,两极分别包覆一层1mm厚的石英玻璃,其相对介电常数为3.9,气隙间隔为5mm。该电极与阻隔介质安放在放电室内,放电室先抽真空至5Pa以下,再充入高纯度的氦气、氩等气体。

诚峰智造等离子体蚀刻机
        用ICCD高速摄像机拍摄DBD放电的侧面图像,用ITO透明电极作为下电极和45°平面镜片辅助,可以拍摄到放电区域的底部。所测量的外加电压Va,放电总电流Vi和所计算的气隙电压Vg波形,其中所测量的准正弦虚线为外加电压波形,而细实线为电流波形。在每半个周期的外加电压上有一个电流脉冲,这是在等离子体刻蚀机大气压下介质阻挡均匀放电的一个典型特征。
        当研究放电机理时,人们更关心气隙电压的Vg值,但由于阻隔介质的存在,不能直接测量气隙电压。利用所测电压Va和放电电流i,结合等离子体刻蚀机DBD的等效电路,即可计算出电压g。以所测得的电压Va和放电总电流i为基础,计算出气隙上的真实电压Vg和流动气隙中流动的电流id。
        这一过程中,Vm(to)表征了在to之前放电在介质表面的累积效应。采用Vm(to)法计算时,在一个外加电压周期内,使Vm(t)的均值为0,即介质不存在自极化。氦放电中的位移电流比运流电流小得多,所以运流电流与实际测量的总电流基本一致,不再单独计算。在空气间隙中,电压Vg随外加电压Va的增加而升高,然后随空气间隙放电迅速下降。该拐点对应于气隙的击穿电压。
        当确认等离子体刻蚀机放电的空间均匀性时,可以在放电电流峰值附近拍摄10ns的放电图像,发现放电没有明暗相间的放电细丝,说明该放电在空间上是均匀的,所以这种在大气压氦气中比较容易得到的放电就是均匀放电;同时还可以看到在瞬时阴极附近有一个亮度较高的发光层,这是辉光放电的典型特征,因此可以断定该大气压氦气放电属于辉光放电。
        从等离子体刻蚀机电压、电流波形及侧发光可以看出,电源频率约为33kHz,气隙厚度约6mm,正极在上面,负极在下面。另外,对比电压、电流波形图和侧发光图,可以看到,氦气和氦气DBD非常相似,两者的区别只是它们的正柱区域不明显,而法拉第暗区则几乎没有。
        由气体间隙电压波形可计算出其击穿强度,6mm气体击穿强度为1kV/cm,远低于大气压气体30kV/cm的击穿强度。这种低的击穿场强是实现等离子体刻蚀机大气压氦气和气体均匀放电的保证。
        诚峰智造20年专注于等离子体刻蚀机技术,如有任何疑问,请点击诚峰智造在线客服进行咨询,诚峰智造恭候您的来电!

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