新闻资讯

NEWS

公司动态

业界动态

技术支持

等离子发生器探针参数的分析为何如此复杂?怎样优化?

关键词：

发布时间：

2021-03-11

等离子发生器探针参数的分析为何如此复杂?怎样优化?
探针分析等离子发生器等离子体参数测量与诊断，采用的是一种简单的等离子体诊断方法，但是这种方法也有其复杂性，为什么要说复杂呢？而实际运行中又该如何优化？为降低等离子发生器探头对等离子体的干扰，方便探头的制作，通常需要选用半径为a<λDe的细导线。因此，确定探针所采集的电流必须了解带电粒子在其鞘部的运动路径，这就使探针的分析变得相当复杂。随着探头电压的增高或增低，其鞘层的宽度会增大，有效收集面积也会增大。

诚峰智造等离子发生器
另外，具有更复杂结构的双探头和发射探头，在很多情况下也被证明是有用的。高频驱动等离子发生器中等离子体电位的振荡也使分析变得复杂。由于探针一般采用准静电的方法，因此，为了消除低温等离子体表面处理过程中机电位振荡对探针测量的影响，通常要使探针偏压与等离子体一起振动。
因此，如何优化等离子发生器探针分析结果呢？探测理论一般假定等离子体中的电子具有麦克斯韦分布。但在很多情况下，电子将偏离麦克斯韦分布。所以，在一般测量电子能量分布函数的情况下，可以直接用于低温等离子发生器等离子体密度的计算。
通过对用探针离子饱和电流和其它测量方法得到的等离子体密度进行比较，可以发现，在放电条件下，用微波测量得到的等离子体密度较准确，而用探针离子饱和电流测量得到的等离子体密度一般要比用微波测量得到的结果高。然而，在很多情况下，用探针和微波技术测量的密度却非常接近。用离子饱和电流测量等离子体密度的精度关键在于，探针鞘层边缘的电子分布是否接近麦克斯韦分布，从而决定了等离子体密度与等离子体类型的关系。
诚峰智造20年专注研发等离子发生器，如果想了解更多产品细节或在设备使用方面有疑问，请点击诚峰智造在线客服，恭候您的来电！