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半导体等离子清洗设备为何采用铝合金腔体比较多

  • 分类:技术支持
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-03-06
  • 访问量:

【概要描述】        半导体等离子清洗设备常用的材料有石英玻璃、不锈钢和铝合金等,不同行业和应用领域的选择会有所不同。在半导体行业,大多数半导体等离子清洗设备都使用铝合金,原因何在?         半导体工业用的等离子清洗设备清洗、刻蚀过程中对真空反应腔材料的选择比较讲究,毕竟晶片、支架等产品的加工环境要求较高。诚峰智造半导体等离子清洗设备选用铝合金质腔体的原因大致如下:         1、铝合金密度低,强度高,优于优质钢,具有较好的机械加工性能。         2、铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。         3、材料对化学反应的兼容性较好,不易产生金属污染,不会产生污染等。         4、铝合金在表面处理方面比较丰富,包括电泳,喷涂,阳极氧化等。         5、趋肤深度为铝铝比不锈钢高10倍以上,使电流分布更加均匀,不易产生热源。         如您对半导体等离子清洗设备感兴趣或想了解更多详情,请点击诚峰智造在线客服咨询,诚峰智造恭候您的来电!

半导体等离子清洗设备为何采用铝合金腔体比较多

【概要描述】        半导体等离子清洗设备常用的材料有石英玻璃、不锈钢和铝合金等,不同行业和应用领域的选择会有所不同。在半导体行业,大多数半导体等离子清洗设备都使用铝合金,原因何在?


        半导体工业用的等离子清洗设备清洗、刻蚀过程中对真空反应腔材料的选择比较讲究,毕竟晶片、支架等产品的加工环境要求较高。诚峰智造半导体等离子清洗设备选用铝合金质腔体的原因大致如下:
        1、铝合金密度低,强度高,优于优质钢,具有较好的机械加工性能。
        2、铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。
        3、材料对化学反应的兼容性较好,不易产生金属污染,不会产生污染等。
        4、铝合金在表面处理方面比较丰富,包括电泳,喷涂,阳极氧化等。
        5、趋肤深度为铝铝比不锈钢高10倍以上,使电流分布更加均匀,不易产生热源。
        如您对半导体等离子清洗设备感兴趣或想了解更多详情,请点击诚峰智造在线客服咨询,诚峰智造恭候您的来电!

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  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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  • 发布时间:2021-03-06 09:55
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半导体等离子清洗设备为何采用铝合金腔体比较多:
        半导体等离子清洗设备常用的材料有石英玻璃、不锈钢和铝合金等,不同行业和应用领域的选择会有所不同。在半导体行业,大多数半导体等离子清洗设备都使用铝合金,原因何在?

诚峰智造半导体等离子清洗设备
        半导体工业用的等离子清洗设备清洗、刻蚀过程中对真空反应腔材料的选择比较讲究,毕竟晶片、支架等产品的加工环境要求较高。诚峰智造半导体等离子清洗设备选用铝合金质腔体的原因大致如下:
        1、铝合金密度低,强度高,优于优质钢,具有较好的机械加工性能。
        2、铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。
        3、材料对化学反应的兼容性较好,不易产生金属污染,不会产生污染等。
        4、铝合金在表面处理方面比较丰富,包括电泳,喷涂,阳极氧化等。
        5、趋肤深度为铝铝比不锈钢高10倍以上,使电流分布更加均匀,不易产生热源。
        如您对半导体等离子清洗设备感兴趣或想了解更多详情,请点击诚峰智造在线客服咨询,诚峰智造恭候您的来电!

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