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plasma设备中的等离子体激发态特殊功能是有什么特点

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发布时间:

2021-03-06

plasma设备中的等离子体激发态特殊功能是有什么特点:
        plasma设备产生的等离子体具有独特的物理化学特性,可用于等离子清洗、等离子激活、等离子蚀刻和等离子沉积等过程。它的特殊功能是什么?

诚峰智造plasma设备
        1、电子温度较高,粒子的动能较大。
        2、作为带电粒子的聚集态,具有与金属相似的导电性。
        3、化学性质活泼,较易发生化学反应,如等离子体去除有机物等。
        4、发光特性,可制作多种光源。比如,霓虹灯、水银日光灯等都是等离子发光现象。
        plasma设备产生的等离子体具有上述特征,是由于等离子体内电子与气体分子之间的碰撞所致。当碰撞能很小时,发生弹性碰撞,而电子的动能几乎没有变化。当碰撞能量很高时,分子中低能电子绕核运动,在碰撞中将获得足够高的能量,从而被激发到远离核的高能级轨道上进行运动。
在plasma设备中,这种处于高能级状态的分子被称为激发态分子,其形式为XY*。当激发态分子中的电子从高能级跳跃到低能级时,便以发光的形式释放出多余的能量,因为不同的光频会让人看到不同的颜色!
        如果碰撞电子的能量足够高,那么电子吸收的能量就能使它脱离核子,变成自由电子,也就是说,分子被电离。XY分子与电子的碰撞也能将其分解为X原子和Y原子(分离)。如果用“:”表示分子中的成键电子对,则离解过程可表示为X:Y→X.+.Y;这样,X与未成对电子(用X和Y旁边的符号·表示)就容易发生化学反应,因此可称为化学活性种或基团(radical)。
H、O、CI等自由态原子以及CH3、CF2、SiH3等分子在等离子清洗机中都是基团。要确定它们不带电荷的性质,我们将其称为中性基团,这是为了与离子性基团不同。

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