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真空等离子机常见气路控制布局上都有哪些特别之处

  • 分类:业界动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-03-01
  • 访问量:

【概要描述】        工艺气体的稳定、连续控制是确保真空等离子机处理效果的因素之一,诚峰智造给大家介绍了气路控制的构成,那么真空等离子机常用的气路控制布局是怎样的呢,而且各个气路组成都有什么特别的,让我们一起学习下。         1、真空等离子机常用的气路控制布局形式         在真空等离子机常用的气路一般包括三个主要部分:两路过程气体控制,一路破空气体控制,一路压缩空气控制即CDA控制。         2、真空等离子机气路各部分组成及其特点:         (1)压缩空气操纵部分仅需高压气体、滤网和输出报警压力表一套,无需其它部件;由于CDA是部分元件的动力气体,只需在气体压力不足时提供报警装置即可。         (2)破真空部分是在CDA操纵气路的基础上增加了一个大口径真空电磁阀,在工艺运行结束后将破真空气体输入到真空腔中,由于破真空气体通常是高纯度的气体,因此在部分破真空的气路中没有安装过滤器。         (3)工艺气体通常是高洁净气体,过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、报警器、报警器输出报警器表、真空电磁阀及质控器。工艺气体一般是两路,也可以根据实际需要配置多路工艺气体。         (4)按照这种气路布置,进气顺序是:先由过滤器将气体输送到调压阀,压力表输出表,然后依次通过真空电磁阀和质量控制器。         以上是真空等离子机常见气路控制布局及各部件特点,如有更多产品细节或使用中有疑问,请点击诚峰智造在线客服,诚峰智造恭候您的来电!

真空等离子机常见气路控制布局上都有哪些特别之处

【概要描述】        工艺气体的稳定、连续控制是确保真空等离子机处理效果的因素之一,诚峰智造给大家介绍了气路控制的构成,那么真空等离子机常用的气路控制布局是怎样的呢,而且各个气路组成都有什么特别的,让我们一起学习下。


        1、真空等离子机常用的气路控制布局形式
        在真空等离子机常用的气路一般包括三个主要部分:两路过程气体控制,一路破空气体控制,一路压缩空气控制即CDA控制。
        2、真空等离子机气路各部分组成及其特点:
        (1)压缩空气操纵部分仅需高压气体、滤网和输出报警压力表一套,无需其它部件;由于CDA是部分元件的动力气体,只需在气体压力不足时提供报警装置即可。
        (2)破真空部分是在CDA操纵气路的基础上增加了一个大口径真空电磁阀,在工艺运行结束后将破真空气体输入到真空腔中,由于破真空气体通常是高纯度的气体,因此在部分破真空的气路中没有安装过滤器。
        (3)工艺气体通常是高洁净气体,过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、报警器、报警器输出报警器表、真空电磁阀及质控器。工艺气体一般是两路,也可以根据实际需要配置多路工艺气体。
        (4)按照这种气路布置,进气顺序是:先由过滤器将气体输送到调压阀,压力表输出表,然后依次通过真空电磁阀和质量控制器。
        以上是真空等离子机常见气路控制布局及各部件特点,如有更多产品细节或使用中有疑问,请点击诚峰智造在线客服,诚峰智造恭候您的来电!

  • 分类:业界动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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  • 发布时间:2021-03-01 10:41
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真空等离子机常见气路控制布局上都有哪些特别之处:
        工艺气体的稳定、连续控制是确保真空等离子机处理效果的因素之一,诚峰智造给大家介绍了气路控制的构成,那么真空等离子机常用的气路控制布局是怎样的呢,而且各个气路组成都有什么特别的,让我们一起学习下。

诚峰智造真空等离子机
        1、真空等离子机常用的气路控制布局形式
        在真空等离子机常用的气路一般包括三个主要部分:两路过程气体控制,一路破空气体控制,一路压缩空气控制即CDA控制。
        2、真空等离子机气路各部分组成及其特点:
        (1)压缩空气操纵部分仅需高压气体、滤网和输出报警压力表一套,无需其它部件;由于CDA是部分元件的动力气体,只需在气体压力不足时提供报警装置即可。
        (2)破真空部分是在CDA操纵气路的基础上增加了一个大口径真空电磁阀,在工艺运行结束后将破真空气体输入到真空腔中,由于破真空气体通常是高纯度的气体,因此在部分破真空的气路中没有安装过滤器。
        (3)工艺气体通常是高洁净气体,过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、报警器、报警器输出报警器表、真空电磁阀及质控器。工艺气体一般是两路,也可以根据实际需要配置多路工艺气体。
        (4)按照这种气路布置,进气顺序是:先由过滤器将气体输送到调压阀,压力表输出表,然后依次通过真空电磁阀和质量控制器。
        以上是真空等离子机常见气路控制布局及各部件特点,如有更多产品细节或使用中有疑问,请点击诚峰智造在线客服,诚峰智造恭候您的来电!

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