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低气压真空等离子机器真空气路控制阀如何分类
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发布时间:
2021-02-27
低气压真空等离子机器真空气路控制阀如何分类:
一种能在真空环境下进行物质等离子表面处理的低气压真空等离子机器,其基本参数为激发频率、激发能量、真空度、气体流量、空腔结构和气体特性。真空气路控制阀可实现对气路的通断,从而对真空度和其它参数进行控制。
低气压真空等离子机器真空气路控制用控制阀,主要有三种类型,分别是高真空气动挡板阀、电磁真空带充气阀、手动高真空角阀,其工作原理大致相同,基本均可通过控制阀实现真空气路的通与断及压力测量等功能,以保证设备可靠、稳定运行,不同类型设备各自适用的特点有所不同。
高真空气动挡板式阀门:
GDQ又称高真空气动挡板阀,一般是在真空管道中低压等离子体设备短时间内待机的情况下,真空泵仍能保持工作状态,高真空气动挡板阀可以接通并切断真空管道中的气流,从而实现真空腔内抽真空过程的开启与关闭。以压缩空气为动力的高真空气动挡板,运行稳定可靠,维修方便,是三类真空气路控制阀中应用较多的一种。
电磁真空带式充气阀:
电磁真空充气阀是一种电磁阀类控制阀,主要用于低气压真空等离子机器,真空泵随操作参数变化而开启。其工作原理是:真空泵启动运行时,电磁真空带充气阀随之开启,真空泵关闭,此时阀门线圈断电,依靠机械力关闭阀门,可防止真空泵内的油气由于真空腔内的负压而被倒吸。
电磁式真空充气阀具有安装简便的优点,但稳定性较差,如果长期使用,气阀的磁力会下降,同时复位弹簧也容易出现反应迟缓现象,目前这种控制阀多用于实验用低压真空等离子设备。
上面是低气压真空等离子机器真气路控制的两种控制阀,如果您想了解更多有关低低气压真空等离子机器的细节或对等离子处理设备的使用有疑问,请点击诚峰智造在线客服咨询,诚峰智造恭候您的来电!
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