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真空等离子清洗机系统常用的电极馈入方式介绍大全

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发布时间：

2021-02-25

真空等离子清洗机系统常用的电极馈入方式介绍大全：
谈到真空等离子清洗机系统的电极放电形式，大家通常都会提到CCP容耦合等离子体放电，CCP放电是目前真空等离子清洗机系统中使用比较普遍的一种电极放电形式，其中又以馈电方式为主。现在我们就来简单介绍一下这两种馈电方式。

诚峰智造真空等离子清洗机系统
比较常见的一种，主要是通过定制的铜杆与聚四氟乙烯材料的绝缘部件相配合，输入真空等离子清洗机系统的真空腔体中，将铜杆与连排结构连接起来。另外，在真空等离子清洗机系统的电极板上还应安装相应的接头。连接方式可采用插针公母头连接、铜片联接和弹片连接、连接排和电极板用铜带连接和螺钉连接，上述几种连接方式中，又以插针公母头连接较为常见，下这种连接方式跟其他两种联接方式也仅在腔体内部有区别。
另一种馈入方式更适合用于水冷式电极结构的连接，即将连接棒焊接在电极板上，通过定做的绝缘套与焊接的连接棒相互配合，使之与外腔相连接；在真空腔以外的地方，使用导电排将连接棒与等离子发生器的输出相连接。如过确认真空等离子清洗机系统需要采用水冷电极结构，则焊接的连接棒为空心结构，这样设计可以实现中间通水，连接棒外接射频。根据实际需要确定并优化了具体结构设计。
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