等离子体清洗机辉光放电电位及光区分布具有什么特点

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2021-02-04
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【概要描述】        上篇文章简单介绍了真空式和大气层式等离子清洗机的辉光放电形式，下面主要介绍了等离子体清洗机辉光放电的电位分布和光区分布等相关内容。         等离子体清洗机辉光放电的一个显著特点是，气体中的电位分布，由阴极位降表示，这是由于空间电荷的作用，辉光放电就是有很大的阴极位降。阴极表面覆有辉光，且与放电现象呈正相关，电流强度与管中电流强度成正比，当电流改变时，电流密度和阴极位降保持不变，此时为正常辉光放电。在整个阴极被辉光覆盖的电流上升过程中，随着电流强度的上升和电流密度的上升，阴极位降开始增大，此时进入反常辉光放电状态。         根据等离子体清洗机的放点空间分布，可以将其划分为两个主要的区域：一是放电的阴极区域，包括阿斯顿暗区、阴极辉区、负辉区和法拉第暗区；第二是阳极区域，包括正柱区、阳极暗区和阳极辉区。阴极部分不具有等离子体特征，从正柱区到阳极其它放电区域均为等离子体状态。         普通等离子体清洗机的辉光放电阴极区内，正离子数密度为常数。电流密度的提高在进入反常辉光区时会导致电场的失真阴极位降进一步升高，在阴极位降区内功率损失越来越大，从而导致阴极上溅射。阴极溅射是辉光放电阴极上的一种特殊工艺，它能清除阴极表面具有不同性能的粘附层，使金属膜粘附于金属、玻璃、陶瓷、云母等材料上。