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等离子体设备射频水平电极容耦合放电如何作用出来的

  • 分类:公司动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-02-04
  • 访问量:

【概要描述】        根据电源选择的不同,一般主要有中频和射频两种类型,而射频等离子体设备由于放电形式不同,也有射频容耦合和感性耦合放电两种类型,我们将介绍射频,以及水平电极的兼容耦合放电形式和基本原理。         1、什么是RF:         RF是指等离子体设备的工作频率在MHz量级,RF等离子体设备的典型波段为13.56MHz。电容耦合射频在材料表面等离子体清洗应用中应用较广。         2、基本原理:         低温等离子体在等离子体设备中的产生机理有很多种,包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电等,其中,电容耦合水平电极板的射频放电又以处理面积大而被广泛应用于许多科研和工业处理中。         对电容耦合高频等离子体源来说,保持在平行电极之间的等离子体主要是通过高频电场来加热的。大多数电容耦合RF等离子体反应器都是非磁化的,工作频率在1~100MHz之间,其电荷对电磁场的反应比电子等离子体反应器的频率要低,也就是ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型由于采用了兼容性耦合射频放电可以产生大面积稳定的等离子体,因此,如前所述,等离子体设备电容放电已成为广泛应用于低气压放电材料处理的等离子体源。

等离子体设备射频水平电极容耦合放电如何作用出来的

【概要描述】        根据电源选择的不同,一般主要有中频和射频两种类型,而射频等离子体设备由于放电形式不同,也有射频容耦合和感性耦合放电两种类型,我们将介绍射频,以及水平电极的兼容耦合放电形式和基本原理。


        1、什么是RF:
        RF是指等离子体设备的工作频率在MHz量级,RF等离子体设备的典型波段为13.56MHz。电容耦合射频在材料表面等离子体清洗应用中应用较广。
        2、基本原理:
        低温等离子体在等离子体设备中的产生机理有很多种,包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电等,其中,电容耦合水平电极板的射频放电又以处理面积大而被广泛应用于许多科研和工业处理中。
        对电容耦合高频等离子体源来说,保持在平行电极之间的等离子体主要是通过高频电场来加热的。大多数电容耦合RF等离子体反应器都是非磁化的,工作频率在1~100MHz之间,其电荷对电磁场的反应比电子等离子体反应器的频率要低,也就是ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型由于采用了兼容性耦合射频放电可以产生大面积稳定的等离子体,因此,如前所述,等离子体设备电容放电已成为广泛应用于低气压放电材料处理的等离子体源。

  • 分类:公司动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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  • 发布时间:2021-02-04 08:53
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等离子体设备射频水平电极容耦合放电如何作用出来的:
        根据电源选择的不同,一般主要有中频和射频两种类型,而射频等离子体设备由于放电形式不同,也有射频容耦合和感性耦合放电两种类型,我们将介绍射频,以及水平电极的兼容耦合放电形式和基本原理。

等离子体设备
        1、什么是RF:
        RF是指等离子体设备的工作频率在MHz量级,RF等离子体设备的典型波段为13.56MHz。电容耦合射频在材料表面等离子体清洗应用中应用较广。
        2、基本原理:
        低温等离子体在等离子体设备中的产生机理有很多种,包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电等,其中,电容耦合水平电极板的射频放电又以处理面积大而被广泛应用于许多科研和工业处理中。
        对电容耦合高频等离子体源来说,保持在平行电极之间的等离子体主要是通过高频电场来加热的。大多数电容耦合RF等离子体反应器都是非磁化的,工作频率在1~100MHz之间,其电荷对电磁场的反应比电子等离子体反应器的频率要低,也就是ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型由于采用了兼容性耦合射频放电可以产生大面积稳定的等离子体,因此,如前所述,等离子体设备电容放电已成为广泛应用于低气压放电材料处理的等离子体源。

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