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真空等离子处理仪的溅射现象对产品有何影响

  • 分类:公司动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-02-03
  • 访问量:

【概要描述】        在采用相容耦合放电的真空等离子处理仪进行材料等离子体表面处理时,只要选择的气体为惰性气体,就会出现一定的溅射现象,这实际上与直流辉光放电或交流高频放电无关,那么溅射现象对真空等离子处理仪处理的产品是否会产生影响?         真空等离子处理仪产生的溅射现象一般比较微弱,对于一般产品或材料来说,这种微弱的溅射现象不会对基材的性能产生影响,但如果所处理的产品对处理要求比较严格,如医用相关产品,则会对基材的溅射现象有程度要求,一般为溅射越少越弱则越好。         我们从真空等离子处理仪的电极结构,了解一下溅射,相容耦合的射频真空等离子体表面处理设备,基本上都会用铝合金做电极,这主要是因为铝本身具有很好的散热性,并且对等离子体具有很好的耐候性,即使是铝,在长时间的等离子轰击下,电极表面仍然会有铝原子逃逸。         同样,正因为射频溅射会轰击出金属颗粒,而被轰击出的这部分金属颗粒可能会附着在产品表面,导致污染,进而影响产品,例如医用高分子表面上的金属原子,会给人体带来安全隐患;半导体引线框架会因金属的注入而影响产品的打线质量。         所以,为了减少甚至避免射频溅现象,就必须在真空等离子处理仪的腔结构、电极板的冷却、工艺参数等方面进行调整和优化,关于这一部分的内容,我们在后面讨论。

真空等离子处理仪的溅射现象对产品有何影响

【概要描述】        在采用相容耦合放电的真空等离子处理仪进行材料等离子体表面处理时,只要选择的气体为惰性气体,就会出现一定的溅射现象,这实际上与直流辉光放电或交流高频放电无关,那么溅射现象对真空等离子处理仪处理的产品是否会产生影响?


        真空等离子处理仪产生的溅射现象一般比较微弱,对于一般产品或材料来说,这种微弱的溅射现象不会对基材的性能产生影响,但如果所处理的产品对处理要求比较严格,如医用相关产品,则会对基材的溅射现象有程度要求,一般为溅射越少越弱则越好。
        我们从真空等离子处理仪的电极结构,了解一下溅射,相容耦合的射频真空等离子体表面处理设备,基本上都会用铝合金做电极,这主要是因为铝本身具有很好的散热性,并且对等离子体具有很好的耐候性,即使是铝,在长时间的等离子轰击下,电极表面仍然会有铝原子逃逸。
        同样,正因为射频溅射会轰击出金属颗粒,而被轰击出的这部分金属颗粒可能会附着在产品表面,导致污染,进而影响产品,例如医用高分子表面上的金属原子,会给人体带来安全隐患;半导体引线框架会因金属的注入而影响产品的打线质量。
        所以,为了减少甚至避免射频溅现象,就必须在真空等离子处理仪的腔结构、电极板的冷却、工艺参数等方面进行调整和优化,关于这一部分的内容,我们在后面讨论。

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  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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  • 发布时间:2021-02-03 08:40
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真空等离子处理仪的溅射现象对产品有何影响:
        在采用相容耦合放电的真空等离子处理仪进行材料等离子体表面处理时,只要选择的气体为惰性气体,就会出现一定的溅射现象,这实际上与直流辉光放电或交流高频放电无关,那么溅射现象对真空等离子处理仪处理的产品是否会产生影响?

真空等离子处理仪
        真空等离子处理仪产生的溅射现象一般比较微弱,对于一般产品或材料来说,这种微弱的溅射现象不会对基材的性能产生影响,但如果所处理的产品对处理要求比较严格,如医用相关产品,则会对基材的溅射现象有程度要求,一般为溅射越少越弱则越好。
        我们从真空等离子处理仪的电极结构,了解一下溅射,相容耦合的射频真空等离子体表面处理设备,基本上都会用铝合金做电极,这主要是因为铝本身具有很好的散热性,并且对等离子体具有很好的耐候性,即使是铝,在长时间的等离子轰击下,电极表面仍然会有铝原子逃逸。
        同样,正因为射频溅射会轰击出金属颗粒,而被轰击出的这部分金属颗粒可能会附着在产品表面,导致污染,进而影响产品,例如医用高分子表面上的金属原子,会给人体带来安全隐患;半导体引线框架会因金属的注入而影响产品的打线质量。
        所以,为了减少甚至避免射频溅现象,就必须在真空等离子处理仪的腔结构、电极板的冷却、工艺参数等方面进行调整和优化,关于这一部分的内容,我们在后面讨论。

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