半导体封装与等离子清洗活化处理提高产量和可靠性

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2021-01-28
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【概要描述】        半导体封装与等离子清洗活化处理可以提高半导体材料的产量和可靠性，等离子体处理解决方案，晶圆级封装及微机械组件，满足了先进半导体封装与组装的独特需求。         诚峰智造等离子清洗机专为其特殊的各种特殊要求，特别用于半导体封装与组装，等离子体处理解决方案(ASPA)，晶圆级封装(WLP)以及微机械(MEMS)组件。等离子活化处理的应用包括改善清洁，引线连接，除渣，包块粘连，活化和蚀刻。         由于封装尺寸减小，先进材料的使用增多，在先进集成电路制造中难以实现高可靠性和高成品率。经过恰当的等离子清洗活化 处理，可以改善或克服许多制造难题，包括改进模具连接，增加引线键强度，消除倒装芯片底部填充空隙，减少封装分层等，提高产品产量和可靠性降低不良率。         模具连接-等离子体清洗基片表面活化提高了芯片与环氧树脂的粘附性，改善了模具与基板之间的粘接，更好地促进散热。另外，用共晶焊材料作为粘结材料时，氧化会对模具的粘结性能产生不利影响，通过等离子活化处理去除金属表面的氧化，确保模具连接无空穴。         上道工序污染源或不同材料的交叉，常常导致粘结力低、产量低，在等离子清洁电路板前，可以采用等离子体技术进行引线连接，以提高连接强度和产品良率。         经实验证明，在底部填充前进行等离子表面处理，可提高底部填充芯吸速度，提高圆角高度和均匀度，减少排尿，提高底部填充粘附力。其机理是表面能量和表面化学成分的改变。通过增加基片表面能量，铸模成型后的封装和等离子体处理提高了铸模化合物的粘合力，改善粘接性能提高封装的可靠性。         在制造过程中，各种金属器件，例如加速度计、滚动传感器和气囊式传感器，这些里面包含的半导体元器件都需要先进的等离子活化处理，以提高器件的产量和长期可靠性。其典型应用包括设备等离子清洗、光刻胶去除光阻、光致抗蚀剂、衬料剥落(PCB)、蚀刻分接、消除污染等。其它应用包括表面清洗和粗化，增加可焊接化学键的活化，改善晶片表面的润湿性和流动性。