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plasma设备清洗后,有客户反馈材料表面变黄是什么原因

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发布时间:

2022-12-08

plasma设备清洗后,有客户反馈材料表面变黄是什么原因:
        客户在使用plasma设备处理产品时,往往会出现产品变色,尤其是半导体封装键合元件。下面我们就来总结一下plasma设备清洗后产品变色的缘由。
        被称为等离子体“物质的第四态”。物态的3种物质状态:气体、液态和固体,同一物质含有不同的能量,将在三种形态之间转换,最低能量状态是固体,固体吸收能量转化为液态,液态吸收能量转化为气体,气体是三种形态中最高的能量。
气体物质吸收更多的能量,产生物质的第四种状态,即等离子体。等离子体是电中性的,由电子、离子、光子和中性粒子组成,电子和正离子的数量基本相同,但等离子体不是稳定的物质状态,当电离能量消失时,各种粒子将重新组合,形成原始的气体分子。

        低温等离子体中活性粒子种类繁多,比普通化学反应产生的活性粒子活性更强,种类更多。这些活性粒子容易与材料表面发生反应,因此常用于清洁或改性材料表面。plasma设备清洗的机理主要与材料表面发生反应,分为两种:1种是粒子的化学作用,主要是自由基活性粒子;另一种是粒子的物理作用,主要是正离子和电子。
       气体放电产生的等离子体包括电子、正离子、亚稳态分子和原子。当被洗涤室浸泡在等离子体中时,等离子体中的化学活性粒子与材料表面的污染物发生化学反应。如果是氢离子,则反应为还原反应;如果是氧离子,则会发生氧化反应。
等离子清洗产品变色的原因及解决方案如下:
清洗件表面变色的主要原因有四个:
1)由于射频频率和功率选择不当,零件整体温度过高,导致材料变性或整体氧化;
2)由于零件形状复杂,等离子体在零件局部形成热点,导致局部温度过高,导致局部变性或氧化;
3)材料工件可直接用手指触摸,可发黄;
4)其他富含氧气的材料,如纸张,可能会导致工件变黄。
       一般来说,如果产品容易氧化,一般可以填充氩和氢的混合气体,将氢的比例控制在一定范围内,考虑安全和效率的平衡。容易氧化的产品应避免清洁室内的氧气,并可通过氢气。此外,由于产品变色引起的功率过高,可以适当调整和降低功率,并将其控制在适当的范围内。

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