影响低温等离子处理机放电的匹配器的分析

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
• 来源：低温等离子清洗机生产厂家
• 发布时间：2022-11-29
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【概要描述】影响低温等离子处理机放电的匹配器的分析：        低温等离子处理机不放电或者放电忽高忽低，通常是阻抗匹配出现了情况。等离子发生器在能量传递中，如果反应腔和电极（以下简称负载）阻抗和传输线特征阻抗不相等，在传输过程中会发生反射，部分能量通过加热丢失，而不是所有能量被低温等离子体处理器的负载吸收，将会直接关系等离子体表面处理的成效。        在高频放电回路中，为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器，常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络，以便按不同放电条件进行调节，使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配，让等离子清洗机放电稳定，工作效率高。        影响低温等离子处理机匹配效果的几个主要因素，低温等离子处理机的匹配器，就好比是等离子发生器的伴侣，两者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去适应大功率的等离子发生器，除此之外，要想等离子清洗机取得理想的匹配效果，还需注意以下几个方面。 1.在设计低温等离子处理机的反应腔体和电极的时候，要与匹配器供应商充分沟通相关技术参数，以满足plasma的匹配要求； 2.低温等离子处理机在安装匹配器的时候，应尽量靠近反应腔体和电极，缩短连线，减少功率损耗； 3.气体流量、真空度、处理的产品材质和数量等因素都可能影响阻抗匹配，需根据实际情况做调整。