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CRF真空plasma清洗机面板上的气体压力显示功能
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发布时间:
2022-08-03
CRF真空plasma清洗机面板上的气体压力显示功能:
以前的相关文章有介绍过,一般对于硬性比较低的压缩气体是真空plasma清洗机部分设备的电源,但也是工艺气体的来源。在使用中,压缩气体具有最低的气体压力要求,通过压力调节阀等操作可以实现气体压力的稳定性和规格,那么真空plasma清洗机通常如何实现气体压力的可视化呢?
压缩气体是真空plasma清洗机的重要工艺气体来源。压缩气体的最低气体压力要求是其中之一。通过压力调节阀和其他设备实现了固体气体压力的稳定性和规格。如何实时显示等离子体清洗机的气体压力?
可视化气体压力的方法有很多。最常见的方法是在气路或气路的部件上安装一个减压表,这是等离子体清洗机的气路压力显示。通常压力表安装在调压阀的预留孔上,其优点是在调节气压时可以直接观察到实时压力。
除了增加压力表外,还可以通过增加压力传感器来实现气压可视化,但压力传感器通常需要配备显示模块或控制模块。其优点是可以直接在真空plasma清洗机的操作界面上实时显示气体压力,但会增加编程的复杂性。同时,投资成本相对较高。因此,除了特殊要求外,等离子体清洗很少使用。
真空plasma清洗机的气体压力可视化似乎是一个小指标,很容易被忽视,但气体压力的可视化可以帮助您实时观察等离子体清洗机的压力,及时调查报警的原因,提高故障解决效率。
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