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3种电浆清洗的反应详细介绍

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发布时间：

2022-03-05

3种电浆清洗的反应详细介绍：一、化学反应电浆清洗
采用等离子中的高活性自由基和材料表层的有机物进行化学反应，也称为PE。采用氧气清洗，使非挥发性有机物变成挥发性形式，产生二氧化碳。一氧化碳和水。化学清洗的优势是清洗速度高。选择性好，对清洗有机污染物质更有效的，主要缺点是产生的氧化物可能会在材料表层再次形成。在导线键环节中，氧化物是最不希望的，这一些缺点可以通过适当的工艺参数来避免。
二、物理反应电浆清洗
利用等离子中的离子进行纯物理冲击，清除附着在材料表层的原子，也称为溅射腐蚀（SPE）。氩气用于清洁，氩气用足够的能星轰击器件表层，足以清除任何污垢。聚合物中的大分子化学键被分离成小分子并蒸发，并通过真空泵排出。同时，氩气等离子清洗后，可以改变材料表层的微观形式，使材料在分子级范围内变得更加粗糙，可以大大提高表面活性，提升表层的粘结性能。氩气等离子的优势是清洁材料表层不会留下任何氧化物。缺点是过度腐蚀或污染物质颗粒可能在其他不希望区域重新积累，但这一些缺点可以通过详细调整工艺参数来控制。
三、同时电浆清洗物、化学反应
物理反应和化学反应在清洗中起着关键作用。如果在线等离子清洗环节中采用O2混合气体，反应速率比单独采用Ar或O2快。氩离子加速后，产生的动能可以提升氧离子的反应能力，因此物理化学方法可以清除污染严重的材料表层。