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CRF诚峰等离子体蚀刻机处理工艺关键在于2个方面的应用

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发布时间：

2022-02-20

CRF诚峰等离子体蚀刻机处理工艺关键在于2个方面的应用：
1.CRF诚峰等离子体蚀刻机表面处理：为了提高工具、模具等的性能，可以使用等离子体浸入金属表面的氮、碳、硼、碳氮。该方式的特点是，不是在表面入复盖层，而是改变基体表面的材料结构及其性能。在处理过程中，工件温度低，不使工件变形对精密零件很重要。该方式可应用于各类金属基体，关键有电弧放电氮、氮碳浸入、硼浸入。
2.等离子体在电子工业中的应用：大规模集成电路芯片的生产技术，过去采用化学方式，用等离子体方式代替后，不仅降低了工艺中的温度，还将涂胶、显影、腐蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法，使技术更加简单，实现自动化CRF诚峰等离子体蚀刻机用于材料表面改性，主要包括以下2个方面：
①CRF诚峰等离子体蚀刻机改变润湿性(也称为润湿性)。有机化合物表面的润湿性对颜料、墨水、粘合剂等的粘结性、材料表面的闪光电压和表面泄漏电流等电气性能有很大影响。测定润湿性的量称为接触角。
②CRF诚峰等离子体蚀刻机增强附着力。用等离子体活化气体处理一些聚合物和金属后，可以增强材料和粘合剂的结合强度。原因可能是聚合物表面的交联增强了边界层的附着力；或者在等离子体处理过程中引入偶极子，提高了聚合物表面的附着强度；也可能是等离子体处理消除了聚合物表面的污垢，改善了附着条件。电晕处理也有同样的效果。