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为什么说诚峰等离子清洗技术在微电子封装领域具有广阔的应用前景

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发布时间:

2022-01-11

为什么说诚峰等离子清洗技术在微电子封装领域具有广阔的应用前景:
       诚峰
等离子清洗技术的成功应用有赖于技术压力、等离子体激励频率和功率、时间、技术气体类型、反应腔和电极结构、所要清洗工件的放置位置等技术参数。
       诚峰
等离子清洗技术否提高封装的可制造性、可靠性和成品率。在芯片包装方式生產中,等离子体清洗技术的选定是源于各种各样工艺对材料表面的要求、材料表面的原创性、化学成分、表面污垢等。
等离子清洗技术1、导线架是目前塑封件中仍然占据相当大的市场份额,它主要是利用导热性、导电性好、加工性能好的铜合金材料来制作导线架。但是,铜的氧化物等一些污物会导致模具塑料与铜导线框架脱开,从而影响芯片粘接和引线连接质量,确保柔性线路板的清洁是保证封装可靠性的关键。试验证实,采用氢-氩混合气体,激发频率13.56兆赫兹,能高效地清理柔性线路板金属材料层中的污物,氢等离子体能除去氧化物,而氩则能通过离子化使氢等离子体数量增加。为比较清洗效果,Hsieh将铜丝框在175℃的温度下氧化,然后将其清洗干净,用Ar/H2和Ar/H2(1∶4)等离子体清洗,分别用2.5min和12min进行清洗,测试结果表明,引线框表面的氧化物残留量很小,氧含量为0.1at%。
2、座管帽的清洗。如果管座的管帽存放时间比较长,表面会出现陈迹并且可能有污染,首先要对管帽进行
等离子清洗技术除去污染,再封帽,可以显着提高封帽合格率。陶瓷包装方式一般采用金属材料浆料印制线进行键合区、封盖区域。该材料表面镀Ni、Au前,采用诚峰等离子清洗技术,去除有机污物,提高镀层质量。
       在微电子学、光电学、MEMS封装中,等离子清洗技术被广泛地应用于封装材料的清洗与活化,对于解决电子元件表面沾污、界面不稳定、烧结性、粘结不良等问题的隐患,其关键在于它对提高质量管理和工序控制能力、改善材料表面特性、提高封装产品性能、选定合适的清洗方式及时间等具有可操作性的积极作用。

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