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等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的

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发布时间:

2020-09-22

等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的:

等离子清洗机的起弧装置让具有活跃能激发态的原子、离子或分子向下能越级发光,从而形成等离子体的颜色。因为每种气体中的能级有不同的能量转换,所以每种工艺气体表现出不同的发光特性,从而产生不同的颜色特性。等离子清洗过程中常用的典型气体颜色如下:

CF4:蓝色

SF6:淡蓝色

SiF4:浅蓝色

SiCl4:浅蓝色

Cl2:浅绿色

CCl4:浅绿色

H2:粉红色

O2:淡黄色

N2:红色至黄色

Br2:红色

He:红色至紫色

Ne:砖红色

Ar:暗红色

等离子清洗机的辉光颜色不仅可用于识别是哪种工艺气体,还可用于定性评估工艺气体是否不含污染物。

等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的

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