诚峰plasma清洗机的刻蚀在pcb线路板生产应用领域

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
• 来源：低温等离子设备生产厂家
• 发布时间：2021-11-14
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【概要描述】诚峰plasma清洗机的刻蚀在pcb线路板生产应用领域:        诚峰plasma清洗机运用纯四氟化碳混合气体或四氟化碳与O2搭配的的方式可对晶圆制造中的氮化硅实现μm级的刻蚀，运用四氟化碳与O2或氢气搭配的的方式可对μm级的光刻胶实现清除。        诚峰plasma清洗机的刻蚀在pcb线路板生产应用领域是挑选早的，不论是硬质的pcb线路板或是柔性电路板在生产过程中都会实现孔外去胶，传统技术是运用有机化学药水清洁的的方式，但伴随pcb线路板领域的发展壮大，PCB板变得越来越小，孔也变得越来越小，有机化学药水做孔内去胶的难度系数越来越大，且孔越小咬蚀量也很难操纵，还可能会引起有机化学残留，干扰后段工序。而诚峰plasma清洗机的刻蚀是干式的，并不会有有机化学残留，同时等离子的扩散挑选强，所形成的刻蚀性气相等离子能够对μm级的孔内实现合理有效的刻蚀，咬蚀量还可以根据工序技术参数的调节取得有效的操纵。 四氟化碳运用的注意事项: （1）四氟化碳混合气体尽管是无毒性不燃气体，但浓度高时会引起窒息死亡和神经麻痹，因此运用时应注意气路密封，建议运用防爆管路； （2）plasma清洗机为保证工序稳定，需运用专用型流量控制器； （3）四氟化碳参与反应时会形成氢氟酸，排出的废气为有害气体，需做处理后排放； （4）运用四氟化碳的诚峰plasma清洗机建议配防腐型的干式真空泵。