氧化物plasma等离子处理镀膜的汽化源有电阻式和电子束

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
• 来源：低温等离子设备生产厂家
• 发布时间：2021-11-13
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【概要描述】氧化物plasma等离子处理镀膜的汽化源有电阻式和电子束:        蒸镀的原材料可以是非金属的，可以是SiOX.SiO2或Al2O3.MgO.Y2O3.TiO2.Gd2O3等其它氧化物，而SiOX.AlOx常用。氧化物plasma等离子处理镀膜的汽化源有两种:电阻式和电子束式。电阻式汽化源根据电阻加热的原理加热蒸镀原料，高加热温度可达1700℃。电子束蒸发源由加速电子碰撞蒸镀原料汽化。蒸发器配备了电子枪，通过磁场或电场对电子束进行加速聚集，使其集中于汽化物质的局部位置，形成加热束斑。光束斑点温度达到3000~6000℃，能量密度达到20kW/cm2。        在非金属涂层中，汽化原料的高气化温度和汽化会导致汽化过程中汽化区域的高温，大量的辐射热使基材吸收过多的热能，提高温度；同时，气化分子、离子等颗粒在基材表面凝结成膜时释放的热量导致基材温度过高，热变形严重。高温变形后，基材起皱，导致涂层不均匀或断裂，不能改善涂层的阻隔性。结果表明，软化点和熔点低的塑料膜汽化效果不好。实验表明，只有PP.PET.PA等材料才能更适合氧化物涂层加工。可以肯定地说，plasma等离子处理技术是改善各种塑料薄膜表面性能和功能的好方法。经plasma等离子处理后，膜表面可明显增大，其润湿性能和粘接性能得到改善。