诚峰智造crf等离子蚀刻机晶圆和线路板制造行业的应用情况

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
• 来源：低温等离子设备生产厂家
• 发布时间：2021-11-11
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【概要描述】诚峰智造crf等离子蚀刻机晶圆和线路板制造行业的应用情况： 一、诚峰智造crf等离子蚀刻机应用介绍 （1）晶圆制造行业应用 芯片制造工业中四氟化碳气体用于硅片的线刻蚀，crf等离子蚀刻机使用四氟化碳来进行氮化硅刻蚀和光刻胶。用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧配合的方法，等离子蚀刻机能够在晶圆上形成微米级的氮化硅刻蚀，四氟化碳可与氧、氢配合使用四氟化碳来去除。 （2）线路板制造行业应用 诚峰智能制造crf等离子蚀刻机的蚀刻在电路板制造行业得到了很早的应用。硬电路板和柔性电路板在生产过程中都会去除孔内的胶水。传统工艺采用化学清洗方法。然而，随着电路板行业的发展，电路板越来越小，孔越来越小，化学药物越来越难去除孔内的胶水，孔越小，咬蚀难以控制，也会造成化学残留，影响后期工艺。等离子蚀刻机的刻蚀是干燥的，没有化学残留物，还有就是等离子体具有极强的扩散性，生成的刻蚀气相等离子体能有效地腐蚀微米级孔洞内，并能通过工艺参数的调节来控制咬蚀量。 二、C4F诚峰智造crf等离子蚀刻机使用注意事项 (1)四氟化碳气体虽为无毒不燃气体，但浓度高时会造成的窒息和麻醉性，因此使用时要注意气路密封，推荐使用防爆管道。 (2)为了保证过程的稳定性，需要采用特殊的流量控制器。 （3）四氟化碳参与反应时会产生氢氟酸，排出的废气为有害气体，需做处理后排放； （4）使用四氟化碳的等离子清洗机推荐配防锈型的干式真空泵。        亲，感谢您耐心的阅读！如果此文对您有所帮助，敬请关注一下；如果您有更好的推荐或内容补充，欢迎在咨询框留言与我们互动。诚峰智造的宗旨是专注crf等离子蚀刻机和低温等离子体的技术研讨，CRF与您分享等离子表面处理工艺、原理及应用等相关知识。