氮气等离子清洗机厂家

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2020-09-19
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【概要描述】根据气体的性质，等离子体可以分为以下两种：         气态与非气态等离子体，气态等离子体按其产生时所用气体的化学性质不同可分为不活泼气体和活泼气体两大类。         不活泼等离子体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、空气等，气态等离子体如氧(O2)、氢气(H2)等，清洗过程中不同类型气体的反应机理不同，活泼等离子体对化学反应的影响较大。由于气体的性质不同，其用于清洁的污染物也须有不同的选择。如果一个气体渗透到另一个或更多个气体中，这些元素的混合气体就会产生我们所要的蚀刻和清洁效果。利用等离子体电浆中的离子或高活性原子，将表面污染物撞离或形成挥发性气体，经真空系统送出，达到表面清洁的目的。         在高频电场中低气压状态下，气体分子，如氧、氮、甲烷、水蒸气等气体分子，在辉光放电的情况下，会分解加速运动的原子和分子。所生成的电子在电场中加速时，可获得很高的能量，并与周围的分子或原子发生碰撞，使分子和原子重新被电子激发，而本身又处于激发态或离子态，此时物质的存在状态即为等离子体状态。除气体分子、离子和电子外，等离子体中还存在电中性的原子或原子团，它们受能量的激发状态(也称为自由基)，以及由等离子体发出的光，其中，波的长度、能量的高低对等离子体与物质表面相互作用起着重要作用。         在等离子体清洗过程中，氮气作为不活泼气体，主要是作为非反应性气体，氮气等离子体处理可以提高材料的硬度和耐磨性。有时，氮气还可以作为一种活性气体，形成氨的化合物。在很多情况下，等离子清洗机厂家使用氮或作为无活性气体使用。