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半导体生产制造领域_等离子清洗机的四大应用

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发布时间:

2021-09-03

       半导体元器件生产制造中基本上所有的工艺流程都是有清理这种环节,其主要目的是为了更好地完全清除电子器件表层的颗粒、有机化合物和无机化合物的沾污残渣,以确保产品品质。等离子清洗机工艺技术的特有性,现已逐步被人们高度重视起來。
等离子清洗机       半导体封装行业广泛运用的物理、化学清洗方式大体上可分为湿式清理和干式清理两大类,尤其是干式清理发展趋势特别快,这其中等离子清洗机优越性显著,有利于促进提升晶粒与焊盘导电胶的黏附能力、焊锡膏浸润性能力、金属丝引线键合抗拉强度、塑封料和金属外壳包裹的稳定性等,在半导体元器件、微机电系统、光电电子器件等封裝行业中应用推广的市场发展前景宽阔。
等离子清洗机专用设备在半导体封装中的运用
(1)铜引线框架:铜的氧化物质与其它的一部分有机化学污染物质会导致密封性橡塑制品与铜引线框架的分层,导致封裝后密封性能力下降与慢性型渗气状况,与此同时也会危害处理芯片的粘结和引线键合产品质量,通过等离子加工处理铜引线框架,可清除有机化合物和空气氧化层,与此同时活化和粗化表层,确保打线和封裝的稳定性。
(2)引线键合:引线键合的产品质量对集成电路工艺的稳定性有关键性危害,键合区必需无污染物质并有着优良的引线键合特征。污染物质的诞生,如氧化物质、有机化学污染物质等都是会明显消弱引线键合的抗拉力值。等离子清洗机能有效的清除键合区的表层污染物质并使其表面粗糙度提升,能大幅提升引线的引线键合抗拉力,的提升封裝电子器件的稳定性。
(3)倒装集成电路封装:伴随着倒装集成电路封装新技术的诞生,等离子清洗机已被选为其提高效益的必备条件。对处理芯片及其封装载板开展等离子加工处理,不仅能获得超净化处理的电焊焊接表层,与此同时还能进一步提高电焊焊接表层的活力,如此一来能够有效的避免 虚焊和减低空洞,提升填充物的边沿相对高度和包容性,持续改善封裝的机械强度,减低因不同的材质的热膨胀系数而在界面间建立内应的剪切应力,提升成品稳定性和使用期限。
(4)陶瓷封装:陶瓷封装中一般选用金属料浆印刷pcb线路板作键合区、盖板密封性区。在这类材质的表层电镀Ni、Au前选用等离子清洗机,可清除有机化合物钻污,大幅提升镀层产品质量。

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