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传统等离子处理机渗氮工艺采用的是直流或脉冲异常辉光放电

  • 分类:业界动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-08-31
  • 访问量:

【概要描述】        一般等离子处理机渗氮工艺要求气压在3~10mbar,这就保证了等离子处理机与基底之间的接触很充(分)。对于形状复杂的基底,如外表有效小沟槽或螺纹等,在复杂形状附近的等离子体参数分布会有所差别,这将会导致其周围电场的变化,进而改变这个区域的离子浓度和离子轰击的能量。如果采用常规等离子处理机渗氮,则鞘层内的离子碰撞会更加频繁,就会导致离子的能量降(低),因此也就难以激(活)氧化物较多的金属表面,如不锈钢等。这种复杂形状基底情况还会导致区域温度过热,渗氮特性也会与其他基底不同。而对用常规等离子处理机渗氮工艺所产生的这种异常辉光放电,放电参数互相关联耦合,因此不可能单独改变其中某一个放电参数来控制渗氮过程。          等离子处理机复合渗氮工艺提高扩散速率的机理分析,部件经调质处理后表层组织为回火索氏体,部件外表强度较高,心部塑性较好。之后微细加工处理,旨在除去经过调质处理后部件外表的氧化皮,为之后工艺做准备。为了提高渗透速度,采用渗透前部件外表的高频淬火处理,表面淬火处理后部件表层的组织为马氏体和残留奥氏体,两者都是结构缺陷,此外,部件表层还具有大量应力、位错等缺陷,这些缺陷为之后的低温氮渗透技术提供能量和结构支持另外,部件经表面淬火处理后,表层强度大大提高,降(低)了基体与渗氮层之间的强度系数,改进了渗氮层剥落状况,加强了渗氮层与基体的结合性。表面淬火处理后开展的微加工处理,目的也是去除经表面淬火处理后部件外表具有的氧化皮,为之后的等离子处理机渗氮工艺做铺垫,等离子处理机提高渗氮层与基体的结合性,改进渗氮层质量。

传统等离子处理机渗氮工艺采用的是直流或脉冲异常辉光放电

【概要描述】        一般等离子处理机渗氮工艺要求气压在3~10mbar,这就保证了等离子处理机与基底之间的接触很充(分)。对于形状复杂的基底,如外表有效小沟槽或螺纹等,在复杂形状附近的等离子体参数分布会有所差别,这将会导致其周围电场的变化,进而改变这个区域的离子浓度和离子轰击的能量。如果采用常规等离子处理机渗氮,则鞘层内的离子碰撞会更加频繁,就会导致离子的能量降(低),因此也就难以激(活)氧化物较多的金属表面,如不锈钢等。这种复杂形状基底情况还会导致区域温度过热,渗氮特性也会与其他基底不同。而对用常规等离子处理机渗氮工艺所产生的这种异常辉光放电,放电参数互相关联耦合,因此不可能单独改变其中某一个放电参数来控制渗氮过程。
         等离子处理机复合渗氮工艺提高扩散速率的机理分析,部件经调质处理后表层组织为回火索氏体,部件外表强度较高,心部塑性较好。之后微细加工处理,旨在除去经过调质处理后部件外表的氧化皮,为之后工艺做准备。为了提高渗透速度,采用渗透前部件外表的高频淬火处理,表面淬火处理后部件表层的组织为马氏体和残留奥氏体,两者都是结构缺陷,此外,部件表层还具有大量应力、位错等缺陷,这些缺陷为之后的低温氮渗透技术提供能量和结构支持另外,部件经表面淬火处理后,表层强度大大提高,降(低)了基体与渗氮层之间的强度系数,改进了渗氮层剥落状况,加强了渗氮层与基体的结合性。表面淬火处理后开展的微加工处理,目的也是去除经表面淬火处理后部件外表具有的氧化皮,为之后的等离子处理机渗氮工艺做铺垫,等离子处理机提高渗氮层与基体的结合性,改进渗氮层质量。

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        一般等离子处理机渗氮工艺要求气压在3~10mbar,这就保证了等离子处理机与基底之间的接触很充(分)。对于形状复杂的基底,如外表有效小沟槽或螺纹等,在复杂形状附近的等离子体参数分布会有所差别,这将会导致其周围电场的变化,进而改变这个区域的离子浓度和离子轰击的能量。如果采用常规等离子处理机渗氮,则鞘层内的离子碰撞会更加频繁,就会导致离子的能量降(低),因此也就难以激(活)氧化物较多的金属表面,如不锈钢等。这种复杂形状基底情况还会导致区域温度过热,渗氮特性也会与其他基底不同。而对用常规等离子处理机渗氮工艺所产生的这种异常辉光放电,放电参数互相关联耦合,因此不可能单独改变其中某一个放电参数来控制渗氮过程。
 
等离子处理机       等离子处理机复合渗氮工艺提高扩散速率的机理分析,部件经调质处理后表层组织为回火索氏体,部件外表强度较高,心部塑性较好。之后微细加工处理,旨在除去经过调质处理后部件外表的氧化皮,为之后工艺做准备。为了提高渗透速度,采用渗透前部件外表的高频淬火处理,表面淬火处理后部件表层的组织为马氏体和残留奥氏体,两者都是结构缺陷,此外,部件表层还具有大量应力、位错等缺陷,这些缺陷为之后的低温氮渗透技术提供能量和结构支持另外,部件经表面淬火处理后,表层强度大大提高,降(低)了基体与渗氮层之间的强度系数,改进了渗氮层剥落状况,加强了渗氮层与基体的结合性。表面淬火处理后开展的微加工处理,目的也是去除经表面淬火处理后部件外表具有的氧化皮,为之后的等离子处理机渗氮工艺做铺垫,等离子处理机提高渗氮层与基体的结合性,改进渗氮层质量。

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