在真空等离子设备工作时，应保持工艺真空度和真空腔密度

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
• 来源：低温等离子设备生产厂家
• 发布时间：2021-08-18
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【概要描述】一、真空等离子设备电磁阀        真空等离子中，真空等离子设备需要保持工艺要求的真空度和真空腔的密封性，因此其连接腔的各气路阀门必须考虑真空密封要求，通常选用与气路操纵相匹配的真空阀。为了更好地确保运作比较稳定，真空等离子清洗机都选用真空阀操纵1路汽体，所选用的真空阀都选用两位两通式。       二、真空等离子设备气动球阀        真空等离子设备的进气量由蒸汽流量计操纵，其工作原理是通过调旁通阀的多少来操纵流量。在等离子清洗机中，蒸汽流量计分为气浮设备和产品质量流量计原理。气动球阀具有真空密封高、耐腐蚀、直径大的特点，因此当设备清洗需要进入独特单体时，将其应用于气路操纵。根据实际采用要求，选择两个或三个。        气浮设备蒸汽流量计是通过手动调节开启阀门的多少来实现气浮设备流量控制的，阀门开启后会受到气压变化、振动等多种因素的影响，导致实际进气流量浮动范围较大，不适对工艺气流要求较高的设备。品质控制器通常是自动精确测量和操纵工艺汽体的品质流量，确保等真空离子设备工艺处理的可靠性；对部份腐蚀汽体或其他独特汽体也可实现精确操纵。 三、真空等离子设备止回阀        止回阀又称止回阀，在气路操纵中主要是防止汽体回流，起到保护气路操纵部份其他部件，防止相互反应汽体汇合的作用。采用时要注意它所标明的气流方向。从真空等离子设备止回阀进入的汽体通常是洁净度相对较高的工艺汽体，所以气体压力调节和处理部件的基本结构主要由压力调节阀和过滤器组成。真空等离子设备止回阀的主要作用是将气压操纵在所需的压力范围内，过滤汽体中可能含有的杂质，以确保后端蒸汽流量计等部件的运作可靠性和汽体清洁度。当前真空等离子设备常用的气压调节和处理部件根据其结构特点可分成组合式和一体式。