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低温等离子清洗是利用什么让电子、离子和紫外线的表面发生效用的呢

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发布时间:

2021-08-15

低温等离子清洗是利用什么让电子、离子和紫外线的表面发生效用的呢
       低温等离子清洗中除了气体分子、离子和电子之外,在等离子体中还存在中性电性原子或原子团,这些原子团受到能量激发态的激发,它们是自由基,也是等离子体发出的光,在这些电性原子间的波长、能量的高低对等离子体与工件表面的相互作用起着重要效用。
一、低温等离子清洗中自由基如原子团与工件表面反应
       离子体中的自由基电性强,存在时间长,比离子体多。在等离子体中,自由基是挥发性很强的,它的效用主要是在化学反应过程中能量传递的活(化),在激发态下自由基能量很高,易于与工件表面的分子结合,形成新的自由基。此外,当自由基与工件表面分子结合时,会释放大量的结合能量,这将产生新的表面反应推动力,从而消(除)工件表面物质之间的化学反应。

低温等离子清洗二、低温等离子清洗中电子与工件表面的效用
       由于电子与工件表面的碰撞,会促使吸附在表面的气体分子分解解吸,而电子的大量碰撞则有利于产生化学反应。因为电子质量很小,所以比离子的移动速度要快得多,在等离子体处理过程中,电子比离子早到达工件表面,使表面产生负电荷,有利于引起进一步的反应。
三、低温等离子清洗中离子与工件表面的效用
      低温等离子清洗中通常指带正电荷的阳离子的效用,它会加速冲入带负电荷的表面,这就是我们所说的,使工件表面获得相当大的动能,以撞击除去表面依附的颗粒状物质,这种现象叫做溅射,而且通过离子的冲击力,工件表面发生化学反应的几率会大大增加。
四、低温等离子清洗中紫外性与工件表面的反应
       UV具有很强的光能量,能够破坏和分解附在工件表面的分子键。此外,紫外线具有很强的渗透性,可以通过工件表面深度达到几微米。总之,低温等离子清洗是利用等离子体内各种高能物质及活(化)效用,将依附于工件表面的污迹全面剥除除去。  

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