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工业上的等离子除胶机-通入O2去除胶体效果怎么样?

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发布时间:

2021-08-06

       工业上的等离子除胶机-通入O2去除胶体效果怎么样?21新世纪,随之我国经济的进步和百姓生活水平的不断提高,现代人对生活必需品的質量要求越来越高,现代人对生活必需品的要求也越来越高,等离子技术又逐渐步入生活必需品生产行业中;此外,高新技术的不断进步,使现代人的生活水平不断不断提高,新技术不断涌现,新技术不断涌现,新技术不断涌现,新技术不断涌现,不断涌现。但影响等离子除胶机的因素如果不处理好,那么就会影响到被等离子除胶机物体表面的粘接现象。
等离子除胶机       等离子除胶机去胶汽体为O2。其工作原理是将硅片放入真空反應系统中,加入少量O2和1500伏高压,高频信号发生器形成高频信号,使应时管内形成强电磁场,使O2电离,形成氧离子、活(化)氧原子、氧分子和电子等混合物辉光柱。活氧能够迅速将聚酰亚胺膜氧化成挥发物汽体,并被真空泵吸走,以此去除硅片上的聚酰亚胺膜。等离子除胶机具有除胶操作简单、除胶效率高、表面清洁、无划痕、成本低、环保等优点。
       等离子除胶机设备通常采用电容耦合平行板反应器。在平行电极反应器中,反應离子蚀刻腔采用阴极面积小、阳极面积大的不对称设计,蚀刻物放置在面积小的电极上。鉴于频射主机电源形成的热运动效用,带负电荷的自由电荷質量小,活动速度更快,很快到达阴极的正离子質量大,速度慢,不能在同一时间内到达阴极,因此在阴极附近形成带负电荷的鞘。正离子在鞘的加速下垂直轰击硅片表面,加速表面化学反应和反應生成物的分离,导致浸蚀速度高。等离子体除胶机形成的等离子体轰击也导致各种各样浸蚀得到完成,等离子除胶机原理与等离子体浸蚀的原理是一致的。其区别是反應汽体的种类和等离子体的激发方式。

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