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plasma等离子清洗机-工艺流程上需要结合哪些气体清洗材料

  • 分类:技术支持
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-07-06
  • 访问量:

【概要描述】        小编今天来给朋友们普及plasma等离子清洗机产生的等离子体通常结合哪些气体来处理材料表面         plasma等离子清洗机清洗工艺参考配方,常用O2+Ar,要根据清洗材料的不同,分别用氧、氩、氢、氮、四氟化碳等气体,清洗过程中,不同类型气体的反应机理有所不同,活泼气体的等离子体具备有较强的化学反应活性,不同气体的等离子体具备有不同的化学性质,例如O2等离子体具备有很强的氧化性,可以通过氧化光刻胶生成气体,达到清洁作用;腐蚀性气体的等离子体具备有很好的各向异性,从而满足腐蚀的需要。 1、O2:清洗方式:物理+化学 2、N2:清洗方式:物理+化学 3、CO2:清洗方式:物理+化学 4、Ar:清洗方式:物理 5、CDA(压缩空气):清洗方式:物理+化学         选取  plasma等离子清洗机,可极大的提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成,因此具备有高产率的特点。选取数控技术,自动化程度高;具备有高精度的控制装置而且时间控制的精度很高。         plasma等离子清洗机不会对表面造成损伤,保证表面质量;由于是真空清洗,不会对环境造成二次污染,保证清洗表面不被二次污染。        plasma等离子清洗机处理工艺是一种干式工艺,与湿工艺对比,它有诸多益处,这便是由等离子体自身的性质决定的。整体显电中性的等离子体,由高压电离产生,具备有高活性,能不间断地与材料表面原子发生反应,使表面物质不断被激发成气态物质挥发出来,达到清洁的目的。其在材料表面处理过程中具备有很好的实用性,是一种干净、环保、高(效)的清洗方法。

plasma等离子清洗机-工艺流程上需要结合哪些气体清洗材料

【概要描述】        小编今天来给朋友们普及plasma等离子清洗机产生的等离子体通常结合哪些气体来处理材料表面
        plasma等离子清洗机清洗工艺参考配方,常用O2+Ar,要根据清洗材料的不同,分别用氧、氩、氢、氮、四氟化碳等气体,清洗过程中,不同类型气体的反应机理有所不同,活泼气体的等离子体具备有较强的化学反应活性,不同气体的等离子体具备有不同的化学性质,例如O2等离子体具备有很强的氧化性,可以通过氧化光刻胶生成气体,达到清洁作用;腐蚀性气体的等离子体具备有很好的各向异性,从而满足腐蚀的需要。
1、O2:清洗方式:物理+化学
2、N2:清洗方式:物理+化学
3、CO2:清洗方式:物理+化学
4、Ar:清洗方式:物理
5、CDA(压缩空气):清洗方式:物理+化学
        选取  plasma等离子清洗机,可极大的提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成,因此具备有高产率的特点。选取数控技术,自动化程度高;具备有高精度的控制装置而且时间控制的精度很高。
        plasma等离子清洗机不会对表面造成损伤,保证表面质量;由于是真空清洗,不会对环境造成二次污染,保证清洗表面不被二次污染。
       plasma等离子清洗机处理工艺是一种干式工艺,与湿工艺对比,它有诸多益处,这便是由等离子体自身的性质决定的。整体显电中性的等离子体,由高压电离产生,具备有高活性,能不间断地与材料表面原子发生反应,使表面物质不断被激发成气态物质挥发出来,达到清洁的目的。其在材料表面处理过程中具备有很好的实用性,是一种干净、环保、高(效)的清洗方法。

  • 分类:技术支持
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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  • 发布时间:2021-07-06 18:22
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        小编今天来给朋友们普及plasma等离子清洗机产生的等离子体通常结合哪些气体来处理材料表面
        plasma等离子清洗机清洗工艺参考配方,常用O2+Ar,要根据清洗材料的不同,分别用氧、氩、氢、氮、四氟化碳等气体,清洗过程中,不同类型气体的反应机理有所不同,活泼气体的等离子体具备有较强的化学反应活性,不同气体的等离子体具备有不同的化学性质,例如O2等离子体具备有很强的氧化性,可以通过氧化光刻胶生成气体,达到清洁作用;腐蚀性气体的等离子体具备有很好的各向异性,从而满足腐蚀的需要。
1、O2:清洗方式:物理+化学
2、N2:清洗方式:物理+化学
3、CO2:清洗方式:物理+化学
4、Ar:清洗方式:物理
5、CDA(压缩空气):清洗方式:物理+化学

plasma等离子清洗机        选取  plasma等离子清洗机,可极大的提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成,因此具备有高产率的特点。选取数控技术,自动化程度高;具备有高精度的控制装置而且时间控制的精度很高。
        plasma等离子清洗机不会对表面造成损伤,保证表面质量;由于是真空清洗,不会对环境造成二次污染,保证清洗表面不被二次污染。
        plasma等离子清洗机处理工艺是一种干式工艺,与湿工艺对比,它有诸多益处,这便是由等离子体自身的性质决定的。整体显电中性的等离子体,由高压电离产生,具备有高活性,能不间断地与材料表面原子发生反应,使表面物质不断被激发成气态物质挥发出来,达到清洁的目的。其在材料表面处理过程中具备有很好的实用性,是一种干净、环保、高(效)的清洗方法。

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